[发明专利]一种环保型氧化铌靶材的加工工艺及其装置

权利要求书

1.一种环保型氧化铌靶材的加工工艺，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一、将氧化铌粉末和金属铌粉末根据需求进行比份配制后，投入真空中频炉中，得到的金属混合液；

步骤二、将得到的金属混合液转移至金属气雾化设备的保温坩埚内，并从保温坩埚下部的喷嘴流出，利用惰性气体的气流对流出的金属混合液进行雾化，金属混合液经过雾化冷却后形成雾化颗粒，将得到的雾化颗粒通入加工装置中；

步骤三、雾化颗粒进入干燥筒(30)的内部，热风机(11)通过导风管(12)向干燥筒(30)的内部鼓入热空气，雾化颗粒在干燥筒(30)内部通过转动的毛刷(15)向进料斗(20)的一侧滑移，破碎辊(14)对结团的雾化颗粒进行破碎，雾化颗粒在滑移至进料斗(20)的过程中通过热空气进行干燥，最后雾化颗粒滑入进料斗(20)的内部；

步骤四、进料斗(20)内部的雾化颗粒落入筛料架(21)的内部，两个振动马达(24)驱动筛料架(21)产生震动，筛料架(21)内部的雾化颗粒透过筛网(25)落入箱体(10)的内部，粒径大于筛网(25)孔径的雾化颗粒被留在筛网(25)的上方，在加工装置停机后，打开活动盖(26)，将筛料架(21)整体从安装架(23)的内部拆除出来，对筛料架(21)中遗留的雾化颗粒进行收集；

步骤五、两个伺服电缸一(32)驱动轴向下移动，带动圆筒(31)的底端与箱体(10)内壁的底部接触，经过筛料处理的雾化颗粒从进料斗(20)的内部落入圆筒(31)的内部，驱动杆(36)在电机的驱动下进行转动，利用驱动齿轮(37)和从动齿轮(38)之间的啮合关系，使混料轴(34)在圆筒(31)的内部进行转动，利用混料轴(34)表面下方的混料架(35)对圆筒(31)中的雾化颗粒进行混合均匀，最后两个伺服电缸一(32)驱动轴伸出，将圆筒(31)向上推动，圆筒(31)的底端与箱体(10)内壁的底部脱离，伺服电缸二(43)驱动轴推动推料块(41)向出料管(44)的一侧滑移，推料块(41)将料框(42)内部的雾化颗粒推入出料管(44)中，将出料管(44)的一端和3D打印机的料箱连通；

步骤六、利用3D打印机打印出氧化铌靶材坯料，最后将氧化铌靶材坯料采用数控机床进行精加工，得到氧化铌靶材。

2.根据权利要求1所述的一种环保型氧化铌靶材的加工工艺，其特征在于：步骤一中，以60℃/min的升温速率将真空中频炉内部温度升至2400℃，接着以8℃/min的升温速率再将温度升至2520℃，保温10min。

3.根据权利要求1所述的一种环保型氧化铌靶材的加工工艺，其特征在于：步骤二中，惰性气体采用氩气，控制氩气的气流的气体压强为2.6MPa，流速控制为0.8L/min。

4.根据权利要求1所述的一种环保型氧化铌靶材的加工工艺，其特征在于：步骤六中，控制3D打印机的温度为2200℃。

5.一种环保型氧化铌靶材的加工装置，其特征在于：包括箱体(10)、进料斗(20)和干燥筒(30)，进料斗(20)位于箱体(10)的顶部，且进料斗(20)与箱体(10)的内部连通，干燥筒(30)位于进料斗(20)的顶端，且干燥筒(30)与进料斗(20)的内部连通。

6.根据权利要求5所述的一种环保型氧化铌靶材的加工装置，其特征在于：箱体(10)的内部设置有混料机构，混料机构包括圆筒(31)，圆筒(31)位于箱体(10)的内部，箱体(10)的内部设置有四个伺服电缸一(32)，且四个伺服电缸一(32)驱动轴的一端分别与圆筒(31)表面的四周固定连接，圆筒(31)的顶部开设有通孔(33)，圆筒(31)的内部转动连接有混料轴(34)，且混料轴(34)表面的下方设置有混料架(35)，圆筒(31)内壁的顶部转动连接有驱动杆(36)，且驱动杆(36)的表面设置有驱动齿轮(37)，混料轴(34)的表面设置有从动齿轮(38)，且从动齿轮(38)与驱动齿轮(37)的齿牙表面啮合传动。