[发明专利]III族氮化物层叠体的制造方法、检查方法、以及III族氮化物层叠体

权利要求书

1.一种III族氮化物层叠体，其具有III族氮化物基板和在所述III族氮化物基板的主面的上方形成的III族氮化物外延层，

所述III族氮化物基板在所述III族氮化物基板的主面内具有5×10⁶cm^-2以下的最大缺陷密度，并且，

在通过所述III族氮化物基板的所述主面上划定的位置A且与所述位置A的偏离角的方位平行的线段B上配置的各位置处，偏离角的方位与所述位置A相同，且偏离角的大小从所述线段B的一端向另一端与从所述一端起的距离成比例地单调变化，

所述III族氮化物外延层具有低于1×10¹⁶cm^-3的n型杂质浓度，并且具有为所述n型杂质的浓度的1/10以上且所述n型杂质的浓度以下的碳浓度。

2.根据权利要求1所述的III族氮化物层叠体，其中，在所述主面上，作为所述线段B，存在长度延及2英寸的线段。

3.根据权利要求1或2所述的III族氮化物层叠体，其中，在所述主面中，所述最大缺陷密度为平均缺陷密度的10倍以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，在所述主面的整个区域中，偏离角的大小为0.1°以上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，所述III族氮化物基板的中心的偏离角的方位与a轴方向平行。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，所述III族氮化物基板的中心的偏离角的方位与m轴方向平行。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，在所述III族氮化物基板与所述III族氮化物外延层之间夹有其他III族氮化物外延层。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，所述III族氮化物外延层所具有的受主浓度具有与所述III族氮化物外延层中的、光致发光的黄色发光强度相对于带边发光强度之比即相对黄色强度成比例的倾向。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，所述III族氮化物外延层中的、受主浓度相对于碳浓度的比率即碳的活化率为50％以下。

10.根据权利要求2～9中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，关于所述III族氮化物外延层中的、光致发光的黄色发光强度相对于带边发光强度之比即相对黄色强度，

所述III族氮化物基板的主面的法线方向与c轴方向所成的偏离角的大小与相对黄色强度的对应关系具有如下的倾向：随着偏离角的大小增加，相对黄色强度减少，并且相对黄色强度减少的程度变小。

11.根据权利要求2～9中任一项所述的III族氮化物层叠体，其中，关于所述III族氮化物外延层中的、光致发光的黄色发光强度相对于带边发光强度之比即相对黄色强度，

在所述III族氮化物外延层上，相对黄色强度显示第一恒定值的位置沿着第一圆弧、或第一椭圆弧分布，相对黄色强度显示与所述第一恒定值不同的第二恒定值的位置沿着与所述第一圆弧同心的第二圆弧、或与所述第一椭圆弧同心的第二椭圆弧分布。