[发明专利]阵列基板的检测装置、检测系统和检测方法在审
| 申请号: | 202110851198.4 | 申请日: | 2021-07-27 |
| 公开(公告)号: | CN113571441A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
| 发明(设计)人: | 赵凯祥 | 申请(专利权)人: | OPPO广东移动通信有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L23/544 |
| 代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 纪婷婧 |
| 地址: | 523860 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 阵列 检测 装置 系统 方法 | ||
本申请实施例涉及一种阵列基板的检测装置、检测系统和检测方法,所述阵列基板的检测装置,包括:像素基板;机械臂,设有与所述像素基板连接的阴极引线以向所述像素基板传输第一电位,所述机械臂用于移动所述像素基板,以使所述像素基板与阵列基板连接并接收来自所述阵列基板的第二电位,所述第一电位与所述第二电位之间的电位差用于驱动所述像素基板发光;探针,用于向所述阵列基板传输所述第二电位;和光学检测设备,对应于所述像素基板的发光区而设置,用于检测所述像素基板的亮态光学性能以确定所述阵列基板是否存在异常。
技术领域
本申请实施例涉及检测技术领域,特别是涉及阵列基板的检测装置、检测系统和检测方法。
背景技术
在制作显示设备的阵列基板时,需要在制备完成阵列基板中的各个电路结构后,对阵列基板输出的信号波形进行检测,以确定阵列基板中的信号线和元件是否存在电性不良。但是,阵列基板包括阵列排布的多个驱动电路,而每个驱动电路都包括多个薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT),每个TFT都会导致信号波形发生变化,从而造成检测结果的准确性不足。
发明内容
本申请实施例提供了一种阵列基板的检测装置、检测系统和检测方法,可以优化阵列基板的接触准确性。
一种阵列基板的检测装置,包括:
像素基板;
机械臂,设有与所述像素基板连接的阴极引线以向所述像素基板传输第一电位,所述机械臂用于移动所述像素基板,以使所述像素基板与阵列基板连接并接收来自所述阵列基板的第二电位,所述第一电位与所述第二电位之间的电位差用于驱动所述像素基板发光;
探针,用于向所述阵列基板传输所述第二电位;和
光学检测设备,对应于所述像素基板的发光区而设置,用于检测所述像素基板的亮态光学性能以确定所述阵列基板是否存在异常。
一种阵列基板的检测系统,包括阵列基板、第一阳极和如上述的阵列基板的检测装置,所述阵列基板包括:
测试焊盘,用于连接检测装置的探针,以接收来自所述探针的第二电位;
阳极接触结构,与所述测试焊盘连接,用于传输所述第二电位;
其中,所述第一阳极设于所述像素基板,或设于所述阳极接触结构用于连接像素基板一侧的表面上,所述第一阳极用于将来自所述阳极接触结构的所述第二电位传输至所述像素基板。
一种阵列基板的检测方法,应用于如上述的阵列基板的检测系统,所述检测方法包括:
控制所述机械臂移动所述像素基板,以使所述像素基板上的像素基板与所述阵列基板连接;
传输第一电位至所述阴极信号线;
传输第二电位至所述探针,所述第一电位与所述第二电位之间的电位差驱动所述像素基板发光;
利用所述光学检测设备检测所述像素基板的亮态光学性能,以确定所述阵列基板是否存在异常。
依据上述阵列基板的检测装置、检测系统和检测方法,通过机械臂控制像素基板移动,并通过机械臂中设置的阴极引线向像素基板传输电压信号,能够实现自动控制功能。同时,基于像素基板的光学特性,能够对阵列基板的电学特性进行表征。具体地,测试过程中若像素基板能够正常发光,则说明待测试的阵列基板能够准确地传输驱动信号;若像素基板无法正常发光,则说明待测试的阵列基板中的信号线或元件存在异常。因此,本申请实施例的检测装置能够较为准确且自动化地对阵列基板进行测试,实现了一种准确性较高的检测装置。
附图说明
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