[发明专利]一种自卷曲交指结构的静电微执行器在审
| 申请号： | 202110849458.4 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113460953A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 黄文;汪司琪;汪颖;桑磊 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 卷曲 结构 静电 执行 | ||
1.一种自卷曲交指结构的静电微执行器，其特征在于：包括硅衬底片和自卷曲微管，自卷曲微管由导电层和应力层构成；所述导电层为平面交指结构的金属层，平面交指结构由若干正极交指和若干负极交指交错排列组成，正极交指的长宽和负极交指的长宽相同；若干正极交指的一端分别连接着正极馈线，若干负极交指的一端分别连接着负极馈线，正极馈线的一端和负极馈线的一端构成两个馈线端；
所述自卷曲微管为二圈以上的微管，相邻微管上的正极交指与正极交指相互对应、负极交指与负极交指相互对应；
所述应力层为两层，分别为上应力层和下应力层，上应力层提供压力，下应力层提供拉力；所述导电层位于上应力层上；
工作时，正极馈线接正电压，负极馈线接地；当静电微执行器的电极之间存在电势差时，二圈以上的微管沿卷曲相反的方向在硅衬底片上逐渐摊开，实现开关功能；同时在形态上，实现三维形态至二维形态或二维形态至三维形态的转换。
2.根据权利要求1所述的一种自卷曲交指结构的静电微执行器，其特征在于：所述自卷曲微管的内径为1um-500um；通过调整自卷曲微管的内径，实现相邻微管上的正极交指与正极交指相互对应、负极交指与负极交指相互对应。
3.根据权利要求1所述的一种自卷曲交指结构的静电微执行器，其特征在于：所述应力层材料为双频氮化硅薄膜，上应力层的氮化硅薄膜提供的压应力为900-1100MPa；下应力层的氮化硅薄膜提供的拉应力为280-320MPa。
4.根据权利要求1所述的一种自卷曲交指结构的静电微执行器，其特征在于：当静电微执行器电极之间的电势差为-200V～200V时，微管沿卷曲相反的方向在硅衬底片（1）上逐渐摊开。
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