[发明专利]流量传感器检定系统在审
申请号: | 202110845124.X | 申请日: | 2021-07-26 |
公开(公告)号: | CN113624303A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 肖素艳;穆培祥;胡维 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
主分类号: | G01F25/00 | 分类号: | G01F25/00 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 王海臣 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流量传感器 检定 系统 | ||
本申请提供了一种流量传感器检定系统,解决了现有技术中的单一流量控制器无法实现宽量程比的待测流量计以及单一检测系统无法实现不同类型气体流量计的检定的问题。流量传感器检定系统包括管道回路,以及设置于管道回路中的标准组件;标准组件包括选通组件和与选通组件连接的多个标准流量计,选通组件用于选择多个标准流量计之一与管道回路连通,多个标准流量计的量程不同。
技术领域
本申请涉及气体流量传感器技术领域,具体涉及一种流量传感器检定系统。
背景技术
目前,通常采用流量控制器对待测流量计进行检定(包括校正和标定)。然而,由于流量控制器的动态测量范围较小,为了实现宽量程比的待测流量计的检定,往往需要配备多台不同量程的流量控制器,导致成本巨大。此外,该系统可实现不同原理的气体流量计的测量,不限于质量流量测量原理和体积流量测量原理,这给用流量传感器原理的制造商带来更多便利,并节省测试成本。
申请内容
有鉴于此,本申请实施例致力于提供一种流量传感器检定系统,以解决现有技术中的单一流量控制器无法实现宽量程比的待测流量计的检定的问题以及同一测试系统实现不同原理的气体流量计校准问题。
本申请提供了一种流量传感器检定系统,包括管道回路,以及设置于管道回路中的标准组件;标准组件包括选通组件和与选通组件连接的多个标准流量计,选通组件用于选择多个标准流量计之一与管道回路连通,多个标准流量计的量程不同。
在一个实施例中,选通组件包括与多个标准流量计一一对应连接的多个电磁开关元件。流量传感器检定系统还包括控制器和设置于管道回路中的变频风机;控制器连接变频风机和多个电磁开关元件;控制器用于根据接收到的控制指令控制变频风机以预定频率旋转,确定预定频率对应的输出流量,并根据输出流量,结合预存的输出流量-标准流量计量程-电磁开关元件的对应关系,控制与输出流量对应的电磁开关元件开启。
在一个实施例中,输出流量-标准流量计量程-电磁开关元件的对应关系中不同标准流量计量程对应的输出流量的交集为空集。
在一个实施例中,控制器包括工控机。
在一个实施例中,流量传感器检定系统还包括设置于管道回路中的待测组件;待测组件包括串联设置的至少一个待测流量计。
在一个实施例中,流量传感器检定系统还包括数据采集模块和控制器,数据采集模块用于采集选通组件选通的标准流量计的标准读数和至少一个待测流量计的待测读数;控制器用于根据标准读数对待测读数进行检定。
在一个实施例中,标准流量计和待测流量计的气道平行。
在一个实施例中,管道回路包括第一区段和第二区段;第一区段的下游侧连接选通组件,第二区段连接标准组件和待测组件。流量传感器检定系统还包括多个管道支架,多个管道支架分别位于第一区段和第二区段。
在一个实施例中,流量传感器检定系统还包括设置于管道回路中的稳流装置。
在一个实施例中,稳流装置包括层流部件,层流部件位于标准组件的上游侧。
在一个实施例中,稳流装置还包括变频风机和气体循环稳定腔,变频风机设置于管道回路中,气体循环稳定腔用于在气体进入变频风机之前对气体进行均压处理。
在一个实施例中,气体循环稳定腔为筛网围成的罐状结构,变频风机位于气体循环稳定腔内。
在一个实施例中,流量传感器检定系统还包括设置于管道回路中的消音装置;管道回路包括位于气体循环稳定腔内的出风口,消音装置位于气体循环稳定腔内,并设置在出风口处。
在一个实施例中,流量传感器检定系统还包括设置于管道回路中的过滤器;过滤器位于变频风机和标准组件之间。
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