[发明专利]一种基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法

说明书

一种基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，通过设备工艺模块了解基本的镀膜设备及工艺流程，通过操作技能培训模块，掌握基本的镀膜操作技能，最终通过考核模块给出系统评分、存档及相关操作失误点。本发明所述的基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，通过VR技术构建半导体镀膜加工过程的虚拟场景，克服空间、设备、环境以及原材料供应等各个方面的制约，扩大半导体工艺人员的培训规模和效率，具有很高的推广价值。

技术领域

本发明属于半导体加工教育技术领域，特别涉及一种基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法。

背景技术

半导体器件完整的制备工艺是一个及其复杂的系统性工程芯片的生产设备庞大而复杂，工艺环境要求严格，生产原料、试剂和高纯特种气体的供应有极高的标准。目前，我国严重依赖国外进口的芯片，虽然国内的半导体产业正在逐步打破国外技术封锁，但是离国际先进水平仍有不小的差距。

目前的镀膜培训，通常首先在教室里通过文字、动画或者视频学习与镀膜相关的基本原理、设备信息以及镀膜工艺的基本流程、操作步骤和与之相对应的注意事项等教学内容，然后进入实际的超净间内观看操作人员的全流程操作并听取教师的细致讲解，最后跟随操作人员一步一步的参与实际操作。

在镀膜工艺培训方面，受到场地、设备以及授课人员水平等方方面面的限制。

发明内容

发明目的：针对上述现有技术中存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，通过设备工艺模块了解基本的镀膜设备及工艺流程，通过操作技能培训模块，掌握基本的镀膜操作技能，最终通过考核模块给出系统评分、存档及相关操作失误点。

技术方案：本发明提供了一种基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，该方法包括以下步骤：

步骤1：运行主机系统，将主机系统服务端与客户端进行连接，受训人根据自己的账号、密码，登录主机系统；

步骤2：系统根据受训人员的权限导入相应的半导体镀膜工艺课件，在显示界面显示镀膜工艺原理、操作技能培训项目和考核项目，受训人员选择需要培训的项目，如果是工艺原理则进入步骤3，如果是操作技能培训项目则进入步骤4，如果是考核项目则进入步骤5；

步骤3：进入工艺原理模块界面，受训人员观看镀膜工艺及设备简介后进行基本考核，未通过的受训人员则返回初始界面继续观看，通过的受训人员则返回主界面可以选择后续项目模块；

步骤4：进入操作技能培训项目模块界面，受训人员选择镀膜培训项目，根据系统提示进行虚拟操作，如操作手法有误则系统将给出正确的演示，根据系统演示重新进行操作，直至到完成所有正确操作；

步骤5：进入考核项目模块界面，受训人员选择镀膜考核内容，受训人员在虚拟场景中自行操作，完成后系统给出评分、存档及相关操作失误点。

进一步的，上述的基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，步骤3所述的镀膜工艺原理包括：光学镀膜模块、磁控溅射模块、电子束蒸发模块、原子层沉积模块和原材料模块；所述设备模块包括：光学镀膜机、磁控溅射机、电子束蒸发机和清洗设备。

进一步的，上述的基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，步骤4所述的操作技能包括：光学镀膜设备操作、磁控溅射设备操作、电子束蒸发设备操作。

进一步的，上述的基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，所述光学镀膜是指在原件上镀上一层或多层薄膜来改变光的传播特性，其基本上是借由干涉作用来实现效果的。

进一步的，上述的基于虚拟现实的半导体镀膜技术教育培训和考核方法，所述磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程，入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在级联过程中表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。