[发明专利]一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网在审
| 申请号： | 202110839983.8 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113467200A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王艳良;李鑫 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 张佑富 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 等离子体 灰化 工艺 均匀 离子 筛网 | ||
【权利要求书】：
1.一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，其特征在于：包括筛网本体，筛网本体上设有筛孔，所述筛网本体中部设有凸形区域，所述筛孔均匀分布于筛网本体及凸形区域上。
2.根据权利要求1所述的一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，其特征在于：所述凸形区域的表面设为曲面。
3.根据权利要求1或2所述的一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，其特征在于：所述凸形区域位于筛网本体的上表面中部或下表面中部，形成上凸状或下凸状。
4.根据权利要求1或2所述的一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，其特征在于：所述凸形区域为空心或实心区域。
5.根据权利要求1所述的一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，其特征在于：所述筛网本体由铝材制成。
6.根据权利要求5所述的一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，其特征在于：所述铝材为阳极氧化的铝材。
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