[发明专利]多沟道微型气相色谱柱芯片及制备方法

权利要求书

1.一种多沟道微型气相色谱柱芯片，包括：

至少两个相互独立并行的色谱沟道，所述色谱沟道内填充有不同的固定相；

气体分路沟道，设置于相邻的两个所述色谱沟道之间，与所述色谱沟道的另一侧相连通，用于将待分离气体分成多路，并分别通入每个所述色谱沟道；

至少一个电磁阀，设置于每个所述色谱沟道的一侧，用于控制其中一个所述色谱沟道处于工作状态；

气体流出沟道，与至少一个所述电磁阀相连通，用于使所述待分离气体分离后的气体组分流经所述气体流出沟道。

2.根据权利要求1所述的多沟道微型气相色谱柱芯片，还包括：

总出口，与所述气体流出沟道的出气口相连通，用于排出所述待分离气体分离后的各气体组分。

3.根据权利要求1所述的多沟道微型气相色谱柱芯片，还包括：

至少两个独立的出口，与至少两个相互独立并行的所述色谱沟道分别相连通，用于排出所述待分离气体分离后的各气体组分。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的多沟道微型气相色谱柱芯片，还包括：

总入口，与所述气体分路沟道的进气口相连通，用于向所述气体分路沟道通入所述待分离气体。

5.根据权利要求2所述的多沟道微型气相色谱柱芯片，其中，所述电磁阀包括至少两个入口和一个出口，其中，至少两个所述入口与每个所述色谱沟道的一侧相通，至少两个所述入口能够自由切换；所述出口与所述气体流出沟道靠近所述出口处的一侧相连通。

6.根据权利要求1所述的多沟道微型气相色谱柱芯片，其中，所述固定相包括以下至少之一：高分子微球、碳分子筛、石墨烯、碳纳米管，其中，每个所述色谱沟道填充的不同的固定相包括上述所述固定相之一，每个所述色谱沟道为蛇形。

7.一种如权利要求1～6中任一项所述的多沟道微型气相色谱柱芯片的制备方法，包括：

在基底上刻蚀至少两个相互独立并行的色谱沟道；

将至少一个电磁阀的每个入口分别与至少两个所述色谱沟道相连通，所述电磁阀的出口与所述气体流出沟道靠近所述出口的一侧相连通；

对每个所述色谱沟道填充不同的固定相材料，使得不同的固定相材料分别填满至少两个相互独立并行的所述色谱沟道；

利用金属基片与所述色谱沟道键合密封；

将至少两个相互独立并行的所述色谱沟道与气体分路沟道一侧相连通，并向所述气体分路沟道内通入惰性气体进行老化处理。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其中，所述在基底上刻蚀至少两个相互独立并行的色谱沟道之后，还包括：

将总出口与气体流出沟道的出气口相连通；

或者，

将至少两个独立的出口分别与至少两个相互独立并向的所述色谱沟道相通。

9.根据权利要求8所述的制备方法，还包括：将总入口与所述气体分路沟道的进气口相连通。

10.根据权利要求7所述的制备方法，其中，所述色谱沟道的长度为0.2～5m，宽度为0.2～1mm，深度为0.3～1mm。