[发明专利]使用多个反馈曲线以波长锁定光束的波长锁定器

权利要求书

1.一种装置，包括：

激光发射器，基于待由所述装置测量的发射频率来产生被波长锁定到目标频率的激光束；

第一光电探测器，基于所述激光束的第一光功率来产生第一电流，

所述激光束基于所述第一电流被波长锁定；

分束器，将所述激光束的一部分分为第一光束和第二光束；

标准具，基于所述激光束的发射频率来滤波所述第一光束和所述第二光束，

所述标准具具有针对所述第一光束和所述第二光束的不同的光路长度，并且

基于所述标准具中的相应的光路长度，所述标准具分别将所述第一光束和所述第二光束滤波到第二光功率和第三光功率；以及

第二光电探测器和第三光电探测器，以产生相应的第二电流，

所述第二电流的选定电流，用于波长锁定所述激光束，

基于所述第二电流中的哪一个将提供对所述发射频率的更准确的测量，来选择所述选定电流，以及

所述第二光电探测器和所述第三光电探测器分别基于所述第二光功率和所述第三光功率来产生相应的第二电流。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一光束和所述第二光束的相应的光路长度配置为在对应于所述第一光束的第一曲线和对应于所述第二光束的第二曲线之间引起频率偏移，

所述第一曲线描述所述第二光功率、所述第一光束的光路长度、以及所述发射频率之间的关系，并且

所述第二曲线描述所述第三光功率、所述第二光束的光路长度、以及所述发射频率之间的关系；并且

其中，所述装置的控制器配置为基于对应于所述目标频率的点在所述第一曲线和所述第二曲线上的位置来选择所述选定电流。

3.如权利要求2所述的装置，其中，所述控制器配置为，当在所述点处，所述第一曲线的斜率比所述第二曲线的斜率更陡峭时，选择对应于所述第一光束的所述第二电流，并且

其中，所述控制器配置为，当在所述点处，所述第二曲线的斜率比所述第一曲线的斜率更陡峭时，选择对应于所述第二光束的所述第二电流；并且

其中，所述控制器配置为，基于所述选定电流与参考电流的比率，并且基于所述第一曲线和所述第二曲线中对应于所述选定电流的曲线，来确定所述发射频率。

4.如权利要求3所述的装置，其中，所述控制器配置为基于所述发射频率和所述目标频率之间的差异来产生反馈信号，以使所述激光发射器修正所述发射频率。

5.如权利要求1所述的装置，其中，所述标准具还包括涂层或图案化表面，以使得所述第一光束的光路长度不同于所述第二光束的光路长度。

6.如权利要求5所述的装置，其中，所述分束器包括走离分束器，以引起所述第一光束和所述第二光束之间的特定空间间距，

所述特定空间间距使得所述第一光束或所述第二光束中的一个传输通过所述涂层或所述图案化表面。

7.如权利要求1所述的装置，其中，所述分束器包括楔形分束器，以引起所述第一光束和所述第二光束之间的角度间距，使得所述第一光束的光路长度不同于所述第二光束的光路长度。

8.如权利要求1所述的装置，其中，所述分束器包括：

第一反射表面，部分地反射所述激光束以形成所述第一光束，并且将所述激光束部分地传递到第二反射表面，

所述第二反射表面将所述激光束部分地传递到所述第一光电探测器，并且部分地反射所述激光束以形成所述第二光束。

9.如权利要求1所述的装置，其中，所述激光束的所述部分包括所述第一光束和所述第二光束；并且

其中，所述分束器从所述标准具接收所述激光束的所述部分；并且

其中，所述标准具还包括：

部件，其配置为具有针对所述第一光束的第一折射率和针对所述第二光束的第二折射率，

所述第一折射率不同于所述第二折射率。

10.一种装置，包括：

第一光电探测器，基于光束的光功率来产生第一电流；

分束器，将所述光束的一部分分为第一光束和第二光束；

波长滤波器，滤波所述第一光束和所述第二光束，

基于通过所述波长滤波器的所述第一光束的光路长度和所述第二光束的光路长度之间的差异，所述波长滤波器以不同的方式滤波所述第二光束和所述第一光束；以及

第二光电探测器和第三光电探测器，其分别在所述波长滤波器之后接收所述第一光束和所述第二光束，以产生相应的第二电流。