[发明专利]一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构

说明书

本发明公开了一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其结构包括刻蚀腔、调节钮、排气管、弯管、送气管，刻蚀腔上连接有排气管和送气管，送气管之间设置有弯管，且连接有调节钮，弯管包括保护套筒、收缩套、助力组件、管体，管体连接在送气管上，且其内部连接有保护套筒，保护套筒上连接有收缩套，收缩套之间设置有助力组件，在助力组件上设置有集合装置和扭旋架，利用集合装置和扭旋架在滑轨内相配合，当气流沿弯管的径向呈发散状进入下一管体中，将会推动集合装置逐渐向下收拢，带动扭旋架转动来引导气流集中向下，控制气流内外圈流速大小，避免气流变动过大。

技术领域

本发明涉及传感器领域，特别的，是一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构。

背景技术

传感器用单晶硅在加工过程中，均需对其进行刻蚀处理；现有的刻蚀加工过程中，其往往通过将多个单晶硅叠放在片架之上，并通过向片架所在位置导入反应气流，并使得反应气流在电场环境下产生等离子体，以对单晶硅进行刻蚀；现有的传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构通过管道进入刻蚀腔，当气流在途径管路中弯管时，其弯管管壁会产生相应的摩擦阻力，使得气流沿弯管的径向呈发散状进入下一管体中，以致于气流内外圈流速大小和流动方向被迫急剧地发生改变，造成流动分离形成漩涡区，产生较大的压力损失。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种传感器单晶硅刻蚀装置的送气机构，其结构包括刻蚀腔、调节钮、排气管、弯管、送气管，所述刻蚀腔上连接有排气管和送气管，所述送气管之间设置有弯管，且连接有调节钮，所述弯管包括保护套筒、收缩套、助力组件、管体，所述管体连接在送气管上，且其内部连接有保护套筒，所述保护套筒上连接有收缩套，所述收缩套之间设置有助力组件。

作为本发明的进一步改进，所述助力组件包括对接环、集合装置、滑轨、扭旋架、滑轮，所述对接环通过集合装置间接配合在管体内，且其内圆周上连接有滑轨，所述滑轨上通过滑轮滚动配合有扭旋架。

作为本发明的进一步改进，所述对接环过渡配合在收缩套上，且收缩套具有一定的延展性，会在对接环内摆动扩展进行调节，使得对接环可以增加助力组件的稳定性。

作为本发明的进一步改进，所述集合装置包括固槽、对接扣、联结轴、分流片、引导件，所述固槽通过引导件过渡配合在管体上，且之间连接有联结轴，所述联结轴上连接有对接扣，所述对接扣上插嵌连接有分流片。

作为本发明的进一步改进，所述分流片活动卡合在滑轨内，间接配合在引导件之间，有效分开引导紊乱的气流，能够保持撑开连接的稳定环形形态，并且在受到压力能够在变形后稳定复位。

作为本发明的进一步改进，所述引导件包括顶扣、辅助划片、收拢叶、塑道，所述顶扣连接在固槽和管体之间，且上连接有辅助划片和收拢叶，所述收拢叶过渡配合在对接扣和接环上，且连接有塑道。

作为本发明的进一步改进，所述扭旋架包括装框、套环、衔接钮、松紧带、制圈件，所述装框连接在衔接钮上，且连接有松紧带，所述松紧带之间连接有套环，所述套环上间接配合有制圈件，所述衔接钮连接在滑轮上。

作为本发明的进一步改进，所述制圈件包括堆叠叶、磨合瓣、推把、连轴、承接托，所述堆叠叶上连接有推把和承接托，所述承接托连接在连轴上，所述连轴连接在装框上，且连接有磨合瓣。

有益效果

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1、本发明在助力组件上设置有集合装置和扭旋架，利用集合装置和扭旋架在滑轨内相配合，当气流沿弯管的径向呈发散状进入下一管体中，将会推动集合装置逐渐向下收拢，带动扭旋架转动来引导气流集中向下，控制气流内外圈流速大小，避免气流变动过大。

2、本发明通过塑道为勺状结构，能够在任何形态下都方便回形，使得气流能够顺利的滑过，便于收拢叶顺利且流畅的承接到气流，保证收拢叶对气流集中的效果。