[发明专利]一种银钯铟靶材及其制备方法

说明书

本发明公开了一种银钯铟靶材及其制备方法，包括以下步骤：向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼；待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸，冷却后获得铸锭；对铸锭进行轧制，获得半成品；对半成品进行热处理；后处理获得银钯铟靶材成品。本发明提供的银钯铟靶材及其制备方法，操作简单，所制备的银钯铟靶材抗盐雾和抗氧化能力强，材料晶粒细化程度高。

技术领域

本发明属于靶材技术领域，具体涉及一种银钯铟靶材及其制备方法。

背景技术

随着电子工业的飞速发展，银钯材因其优异的性能，在电子元器件领域具有很高的使用价值和经济价值。但是现有的银钯材抗盐雾能力差、易氧化、晶粒尺寸大，影响靶材的使用寿命和使用效果。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种银钯铟靶材及其制备方法，操作简单，所制备的银钯铟靶材抗氧化能力强，材料晶粒细化程度高。

本发明提供了如下的技术方案：

一种银钯铟靶材的制备方法，包括以下步骤：

向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼；

待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸，冷却后获得铸锭；

对铸锭进行轧制，获得半成品；

对半成品进行热处理；

后处理获得银钯铟靶材成品。

进一步的，所述银含量为99.99％以上，所述铟和钯金的含量均为99.95％以上。

进一步的，所述银、铟和钯金的投料质量比为(80.5-99.4)：(0.1-9.5)：(0.5-10)。

进一步的，熔炼时，先投入一半质量的银，银熔融后投入铟，铟熔融后快速投入钯金，待钯金熔融后投入剩下的银，采用石墨搅拌直到合金全部熔融，加入木炭保温10分钟。

进一步的，浇筑时采用石墨浇铸模具，浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。

进一步的，轧制时，将铸锭置于冷轧机平台上，轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm，每次轧制的延压方向一致，每次轧制均下降3mm-4mm，轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。

进一步的，热处理时，半成品放置于加热炉中，温度调节到400℃，保温时间为1h。

进一步的，后处理包括：去头尾、铣削加工、清洗和干燥。

进一步的，熔炼和轧制后均需取样进行样品质量检测。

一种银钯铟靶材，采用所述的银钯铟靶材的制备方法制备获得。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)本发明所提供的银钯铟靶材的制备方法，操作简单，制备效率高；

(2)本发明所制备的银钯铟靶材成品，因钯材料的添加提高了惰性和抗氧化性，因铟材料的添加提高了材料晶粒细化，弥补了现有银靶材抗盐雾和抗氧化性能差的不足。

具体实施方式

以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

实施例1

一种银钯铟靶材的制备方法，包括以下步骤：

步骤一、备料，准备含量为99.99％以上的银、99.95％以上的铟和钯金。