[发明专利]电容式传感器、麦克风以及电子设备

权利要求书

1.一种电容式传感器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底设有第一电极；

振膜，所述振膜活动连接于所述衬底；所述振膜上设有第二电极，所述第二电极与所述第一电极均呈梳齿状排布，所述第二电极与所述第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；以及

调节机构，所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极之间的间距；

所述调节机构包括连接所述第一电极与所述衬底的伸缩件，所述伸缩件能够在外力作用下伸缩运动，带动所述第一电极运动，以缩小所述第一电极与所述第二电极相对的间隙，以降低灵敏度校准检测时的校准电压需求。

2.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述伸缩件的伸缩方向与所述振膜的振动方向垂直。

3.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于，在所述伸缩件的伸缩方向上，所述伸缩件的一端与所述衬底固定连接，相对的另一端悬空设置；

在所述伸缩件远离所述衬底的一端设有安装座，所述第一电极设于所述安装座朝向所述第二电极的一侧。

4.如权利要求3所述的电容式传感器，其特征在于，所述安装座连接所述伸缩件的侧表面与所述衬底连接所述伸缩件的侧表面平行设置。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述伸缩件包括至少两个子伸缩件，至少两个所述子伸缩件延所述第一电极的梳齿排布方向间隔均匀设置。

6.如权利要求1至4中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述伸缩件为弹性件或者折叠件。

7.如权利要求1至4中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，定义所述第一电极与所述第二电极相对的侧面为第一侧面，所述第二电极与所述第一电极相对的侧面为第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面平行设置，所述第一侧面的延伸方向与所述第二电极的对插方向呈夹角设置；

所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极的对插深度。

8.如权利要求1至4中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述衬底包括多个侧边，所述多个侧边围合形成一腔体，所述振膜悬置于所述腔体内；

所述振膜对应每个所述侧边均设有第二电极，每个所述侧边对应设有所述第一电极，所述第一电极与所述第二电极对插设置。

9.如权利要求8所述的电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器还包括弹性悬臂梁，所述弹性悬臂梁一端与所述衬底固定连接，另一端与所述振膜固定连接。

10.一种麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的电容式传感器。

11.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求10所述的麦克风。