[发明专利]锁紧机构及力学检测设备推拉力机

说明书

本发明公开了一种锁紧机构及力学检测设备推拉力机，锁紧机构包括：手旋螺丝、旋转压紧块、旋转固定块，旋转固定块与模块挂架固定连接，旋转压紧块和旋转固定块旋转活动连接；手旋螺丝与模块挂架螺纹连接，手旋螺丝向下锁紧穿过模块挂架的螺纹时直接与所述旋转压紧块接触，并驱动旋转压紧块在旋转固定块内向下转动，使得旋转压紧块底部与所述模块测试头接触，将所述模块测试头固定在所述模块挂架上。该大推力模块锁紧机构采用了杠杆加力的原理，通过力臂和支点的作用将螺丝锁紧力放大，从而达到在原有的操作方式上将锁紧力呈几何递增产生更大的作用力，有效的避开了模块测试头受到F方向的大推力时而不会导致模块测试头产生松动。

技术领域

本发明涉及力学检测设备技术领域，特别涉及一种应用于半导体力学检测设备推拉力机上可快速更换测试头并且有效可靠锁紧测试头的锁紧机构及力学检测设备推拉力机。

背景技术

半导体器件存在许多种类型的测试键合强度的结点测试。例如，剪切力测试、拉力测试等测试方法之间来回切换，且要求测试工具要被有效可靠的锁紧。

而大推力机型设备面临着推力测试强度高达500kg范围的键合强度结点测试，现有的方式一般直接采用手旋螺丝进行锁紧，而直接采用一个手旋螺丝产生的作用力不能将测试头有效的保持住其固定姿态。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种可以实现力学检测设备推拉力机上快速更换测试头并且有效可靠锁紧测试头的锁紧机构及力学检测设备推拉力机。

为实现上述目的，本发明提供了一种锁紧机构，用于锁紧模块测试头，所述模块测试头安装在模块挂架上，所述锁紧机构包括：手旋螺丝、旋转压紧块、旋转固定块，其中：

所述旋转固定块与所述模块挂架固定连接，所述旋转压紧块和所述旋转固定块旋转活动连接；

所述手旋螺丝与所述模块挂架螺纹连接，其中，所述手旋螺丝向下锁紧穿过所述模块挂架的螺纹时直接与所述旋转压紧块接触，并驱动所述旋转压紧块在所述旋转固定块内向下转动，使得所述旋转压紧块底部与所述模块测试头接触，将所述模块测试头固定在所述模块挂架上。

其中，所述旋转压紧块的底部设置有一个锁紧接触点，所述锁紧接触点将旋转压紧块受到的力作用到所述模块测试头上，从而将所述模块测试头固定在模块挂架上。

其中，所述锁紧机构还包括：弹簧，所述弹簧设置在所述模块挂架上，所述弹簧的顶端与所述旋转压紧块接触。

其中，所述锁紧机构还包括：电气连接块，所述电气连接块和所述模块挂架固定连接。

其中，所述模块测试头和所述电气连接块通过销钉定位连接。

其中，所述模块测试头通过弹簧与所述模块挂架滑动连接。

其中，当所述手旋螺丝的拧紧力卸载后，固定在所述模块挂架上的弹簧在受到所述旋转压紧块的挤压恢复时，将所述旋转压紧块向上弹开，所述旋转压紧块脱离与所述模块测试头的接触。

其中，所述旋转压紧块和旋转固定块均设有相互配合的圆弧面，所述旋转压紧块的圆弧面和旋转固定块的圆弧面配合形成一个转动支点，所述转动支点与所述手旋螺丝的轴心形成一个力臂，使得所述旋转压紧块与旋转固定块形成一个杠杠机构。

此外，本发明还提出一种力学检测设备推拉力机，包括：模块挂架、模块测试头，以及如上所述的锁紧机构。