[发明专利]一种压电式微型泵

权利要求书

1.一种压电式微型泵，包括压电振子（1）、上泵体（2）、下泵体（4）、进口阀（301）和出口阀（302）；所述压电振子（1）与上泵体（2）配合形成泵腔（201）；所述上泵体（2）与下泵体（4）之间配合形成以泵腔（201）为中心对称设置的进口阀腔（402）和出口阀腔（204）；其特征在于，

进口阀（301）包括限位体（3011）、阀片（3012）和悬臂（3013），限位体（3011）环绕于阀片（3012）的外围，且通过悬臂（3013）与阀片（3012）固定连接；所述出口阀（302）与进口阀（301）的结构相同；

进口阀腔（402）的下端通过第一下过流孔（401）连通进口流道（501），上端连通第一上过流孔（202），进口阀腔（402）内非固定地放置有进口阀（301），进口阀（301）具有变形度；进口阀腔（402）的直径大于第一下过流孔（401）的端口直径，使得进口阀腔（402）与第一下过流孔（401）的相接面形成一个环形的下限位面，进口阀（301）非固定地放置在下限位面上；进口阀腔（402）的直径大于第一上过流孔（202）的端口直径，使得进口阀腔（402）与第一上过流孔（202）的端口的相接面形成一个环形的上限位面；吸入阶段，进口阀（301）无阻力地整体上移直至第一上过流孔（202）处，被上限位面限位，进口阀（301）继续在压力的作用下克服阀片变形的弹性力使阀片的开度继续增大；

出口阀腔（204）的下端通过第二下过流孔（403）连通出口流道（502），上端连通第二上过流孔（203），出口阀腔（204）内非固定地放置有出口阀（302），出口阀（302）具有变形度；出口阀腔（204）的直径大于第二下过流孔（403）的端口直径，使得出口阀腔（204）与第二下过流孔（403）的相接面形成一个环形的下限位面；出口阀腔（204）的直径大于第二上过流孔（203）的端口直径，使得出口阀腔（204）与第二上过流孔（203）的端口相接面形成一个环形的上限位面；排出阶段，出口阀（302）无阻力地整体下移直至第二下过流孔（403）处，被下限位面限位，出口阀（302)继续在压力的作用下克服阀片变形的弹性力使阀片的开度继续增大；

吸入阶段，在压电振子（1）作用下泵腔（201）容积变大压力减小，驱使进口阀（301）在进口阀腔（402）内向上运动，此时第一下过流孔（401）开启，流体依次通过进口流道（501）、第一下过流孔（401）、进口阀腔（402）、第一上过流孔（202）后被吸入泵腔（201）；出口阀（302）在出口阀腔（204）内同步向上运动直至第二上过流孔（203）处，第二上过流孔（203）被关闭；

排出阶段，在压电振子（1）作用下泵腔（201）容积变小压力增大，驱使进口阀（301）在进口阀腔（402）内向下运动直至第一下过流孔（401）处，第一下过流孔（401）被关闭；出口阀（302）在出口阀腔（204）内同步向下运动，第二上过流孔（203）开启，泵腔（201）内流体依次通过第二上过流孔（203）、第二下过流孔（403）和出口流道（502）排出。

2.根据权利要求1所述的压电式微型泵，其特征在于，所述进口阀腔（402）的高度大于进口阀（301）的厚度，出口阀腔（204）的高度大于出口阀（302）的厚度。

3.根据权利要求1所述的压电式微型泵，其特征在于，所述进口阀（301）的阀片（3012）完全覆盖第一下过流孔（401）的端口，但不完全覆盖第一上过流孔（202）的端口；所述出口阀（302）的阀片（3012）完全覆盖第二上过流孔（203）的端口，但不完全覆盖第二下过流孔（403）的端口。

4.根据权利要求1或2或3所述的压电式微型泵，其特征在于，所述限位体（3011）的尺寸大于第一上过流孔（202）的端口尺寸。

5.根据权利要求1或2或3所述的压电式微型泵，其特征在于，所述进口阀（301）和出口阀（302）采用PET、PI或者PDMS材料制备而成。