[发明专利]一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统

说明书

本发明公开了一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统，包括供水系统，用于提供定量纯水，和供气系统，用于提供定量携带气，所述供水系统和供气系统通过气水三通与蒸汽管连通，并将纯水和携带气混合形成气水混合物，所述蒸汽管为螺旋状，所述蒸汽管被蒸发加热器环抱，用于给所述蒸汽管提供高温环境，汽化气水混合物。本发明通过螺旋状蒸汽管，3倍延长了蒸汽管在蒸发加热器内部高温区的受热长度，可以让纯水在同样的蒸发加热器长度和温度参数不变的情况下更容易实现进入纯水的全部蒸汽化，汽化的效果更完美；同时螺旋状蒸汽管在保证进入的微量纯水完全汽化的条件下，可以缩短蒸发加热器的长度，更加有利于减小水汽蒸发系统的空间，实现精巧化，小型化。

技术领域

本发明涉及半导体和光伏领域，特别是一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统。

背景技术

现有技术中，BBr3低压扩散炉在工艺过程后，会逐渐残留硼酸等物质在工艺腔室内壁和炉口与炉门位置，属于粘性状，多炉次工艺过程后，炉门即被炉口残留积存的粘性物质粘连，不能正常打开炉门，工艺管内壁同样有粘性物质残留，对于工艺腔室内部的片舟进行粘连，此种状况下就需要停止工作，加热器断电降温，等1050℃的工作温度降低到接近室温后，对套装在加热器内部的工艺管腔室进行拆卸、清洗或更换，一次拆卸或更换需要至少两个班次的时间，其中降温时间需要12-15小时，拆换需要2-3小时，浪费产能，增加工作人员的工作量，还可能在拆卸、清洗、更换中损坏工艺管腔室(石英材质)。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统。

实现上述目的本发明的技术方案为，一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统，包括供水系统，用于提供定量纯水，和供气系统，用于提供定量携带气，所述供水系统和供气系统通过气水三通与蒸汽管连通，并将纯水和携带气混合形成气水混合物，所述蒸汽管为螺旋状，所述蒸汽管被蒸发加热器环抱，用于给所述蒸汽管提供高温环境，汽化气水混合物。

作为对本发明的进一步说明，所述供水系统包括带有水位计且密闭的微正压小水罐，所述微正压小水罐通过小水罐进气管连通控压进气管，所述小水罐进气管底端与预设最高水面间留有间隙，用于提供预设压力的气体，挤压所述微正压小水罐内纯水，所述微正压小水罐还插有小水罐出水管，所述小水罐出水管底端与所述微正压小水罐底面间留有间隙，且低于预设最低水面。

作为对本发明的进一步说明，所述微正压小水罐还插有小水罐补水管，所述小水罐补水管设有阀门，所述小水罐补水管底端与预设最高水面间留有间隙。

作为对本发明的进一步说明，所述小水罐出水管设有压力表，用于调整小水罐进气管的气体压力并显示小水罐出水管的压力值。

作为对本发明的进一步说明，所述小水罐出水管设有水阀门，用于控制是否需要进水，和水流量计，用于精确控制进水量。

作为对本发明的进一步说明，所述供气系统包括携带气进气管，所述携带气进气管设有气门阀。

作为对本发明的进一步说明，所述携带气进气管还设置气流量计，用于精确控制进气量。

作为对本发明的进一步说明，所述蒸发加热器两端设置加热器保温盖。

作为对本发明的进一步说明，还包括外壳，用于保护整个水汽蒸发系统，所述外壳通过支架支撑。

作为对本发明的进一步说明，所述蒸汽管另一端通过带阀门的连接管连接带阀门的工艺进气管，所述工艺进气管连通工艺腔室。