[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材生产装置

权利要求书

1.一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，包括支撑框架（1），其特征在于：

所述支撑框架（1）内表面之间分别固定安装有加工机构（2）、水循环机构（3）、送料机构（4）和送气机构（5），所述支撑框架（1）侧面固定安装有负压吸尘机构（6），所述水循环机构（3）、送料机构（4）、送气机构（5）和负压吸尘机构（6）一端均与加工机构（2）连通；

所述加工机构（2）包括机体（7），所述机体（7）周侧面与支撑框架（1）固定连接，所述机体（7）侧面与送气机构（5）固定连通，所述机体（7）另一侧面固定连通有与负压吸尘机构（6）连通的吸尘罩（8），所述机体（7）顶面固定连通有排气管（9），所述机体（7）内部固定开设有与水循环机构（3）连通的分水环腔（10），所述分水环腔（10）内壁转动连接有布水环座（11），所述机体（7）内部轴线位置固定安装有与送料机构（4）和送气机构（5）连通的喷涂组件（12），所述机体（7）内部通过轴承转动连接有压持机构（14），所述机体（7）周侧面固定连接有伺服电机（15），所述伺服电机（15）输出轴的一端通过锥齿轮与压持机构（14）传动连接，所述机体（7）内壁由上至下依次固定安装有第一静齿环（16）和第二静齿环（17），所述第一静齿环（16）和第二静齿环（17）内壁均与压持机构（14）啮合；

所述压持机构（14）包括传动座（18）、旋压动盘（19）、旋压静盘（20）和集液排管（21），所述传动座（18）、旋压静盘（20）和集液排管（21）周侧面均通过轴承与机体（7）转动连接，所述集液排管（21）底部固定连通有排水管（22），所述排水管（22）一端与水循环机构（3）固定连通，所述伺服电机（15）输出轴的一端通过锥齿轮与传动座（18）传动连接，所述传动座（18）与旋压动盘（19）相对表面之间固定安装有一组呈圆周阵列分布的施压推杆（23），所述旋压动盘（19）和旋压静盘（20）相对表面之间固定安装有一组呈圆周阵列分布的联动伸缩杆（24），所述旋压动盘（19）和旋压静盘（20）相对表面之间安装有一组呈圆周阵列分布的定位模块（25），一组所述定位模块（25）周侧面均与第一静齿环（16）和第二静齿环（17）传动连接，一组所述定位模块（25）顶端均与布水环座（11）固定连通，一组所述定位模块（25）底端均与集液排管（21）固定连通。

2.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，其特征在于，一组所述定位模块（25）均包括限位台（26）和放置台（27），所述限位台（26）周侧面与旋压动盘（19）固定连接，所述旋压动盘（19）轴心位置固定安装有进液管（28），所述进液管（28）顶部周侧面滑动连通有联管（29），所述联管（29）顶端与布水环座（11）固定连通，所述限位台（26）内部且相邻进液管（28）的位置分别固定安装有温度探头（30）和液位传感器（31），所述限位台（26）内壁通过轴承转动连接有压台（32），所述压台（32）周侧面且对应第一静齿环（16）的位置固定安装有第一从动齿轮（33），所述第一从动齿轮（33）周侧面与第一静齿环（16）啮合，所述放置台（27）周侧面通过轴承与旋压静盘（20）转动连接，所述旋压静盘（20）周侧面且对应第二静齿环（17）的位置固定安装有第二从动齿轮（34），所述第二从动齿轮（34）周侧面与第二静齿环（17）啮合，所述压台（32）底面及放置台（27）顶面均固定安装有密封胶垫，所述压台（32）与放置台（27）相对表面之间通过密封胶垫卡接有靶材基管（35），所述放置台（27）内部固定开设有下液腔（36），所述下液腔（36）底面转动连通有下液管（37），所述下液管（37）一端与集液排管（21）固定连通。

3.根据权利要求2所述的一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，其特征在于，所述联管（29）与进液管（28）滑动连接处固定设置有一组密封胶圈，所述下液管（37）呈倾斜设置，所述靶材基管（35）为两端开口的中空管状结构，所述靶材基管（35）的轴线与水平线垂直。

4.根据权利要求1所述的一种导电氧化锆旋转靶材生产装置，其特征在于，所述送料机构（4）和送气机构（5）与喷涂组件（12）连接处固定设置有连接面板b（47），所述连接面板b（47）一表面与机体（7）固定连接。