[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：

衬底；

第一反射层，设置在所述衬底上；

有源层，设置在所述第一反射层上，用于发射激光束；

第二反射层，设置在所述有源层上；

其中，所述第二反射层中包括多个光学散射层，所述激光束经过所述光学散射层形成远场光斑，所述光学散射层将边缘的所述激光束散射至所述远场光斑的中心区域内，多个所述光学散射层堆叠设置或间隔设置；

其中，所述光学散射层上包括光学散射粒子，所述光学散射粒子包括起伏的界面；

其中，所述光学散射层的粗糙度大于所述第一反射层的粗糙度。

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，多个所述光学散射层上所述光学散射粒子的密度不同。

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，还包括第一电极，所述第一电极设置在所述第二反射层上。

4.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，还包括第二电极，所述第二电极设置在所述衬底的底部。

5.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第二反射层内还包括电流限制层，通过所述电流限制层定义出光孔。

6.根据权利要求5所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述光学散射粒子位于所述出光孔内。

7.一种垂直腔面发射激光器的制造方法，其特征在于，包括：

提供一衬底；

形成第一反射层于所述衬底上；

形成有源层于所述第一反射层上；

形成第二反射层于所述有源层上；

其中，所述第二反射层中包括多个光学散射层，激光束经过所述光学散射层形成远场光斑，所述光学散射层将边缘的所述激光束散射至所述远场光斑的中心区域内，多个所述光学散射层堆叠设置或间隔设置；

其中，所述光学散射层上包括光学散射粒子，所述光学散射粒子包括起伏的界面。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述第一反射层的生长温度为620-720℃，所述第一反射层的生长速率为0.5-3.5微米/小时。

9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述第二反射层的生长温度为700-750℃，所述第二反射层的生长速率为1.5-4.5微米/小时。

10.一种激光设备，其特征在于，包括：

基板；

发光元件，设置在所述基板上，所述发光元件包括至少一垂直腔面发射激光器，所述垂直腔面发射激光器包括：

衬底；

第一反射层，设置在所述衬底上；

有源层，设置在所述第一反射层上，用于发射激光束；

第二反射层，设置在所述有源层上；

其中，所述第二反射层中包括多个光学散射层，所述激光束经过所述光学散射层形成远场光斑，所述光学散射层将边缘的所述激光束散射至所述远场光斑的中心区域内，多个所述光学散射层堆叠设置或间隔设置；

其中，所述光学散射层上包括光学散射粒子，所述光学散射粒子包括起伏的界面；

其中，所述光学散射层的粗糙度大于所述第一反射层的粗糙度。