[发明专利]ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法

权利要求书

1.一种ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：首先将30wt%-50wt%的AR硝酸溶液加入密闭容器内，开启加热和搅拌，溶解温度达到40℃-80℃，分次或连续加入一定量直径2-8mm、纯度≥99.993%的金属锡粒，过程反应温度为105±5℃，反应自加锡粒结束后1小时内，加入一定量60℃-100℃去离子水定容至6wt%-11wt%，过滤，继续搅拌10-60min，静置4h-15h；

步骤二：熟成：待溶液温度达到40℃以下时，抽取上清液，加入30℃-40℃去离子水，搅拌后静置大于1h以上，抽取上清液；重复本步骤，直至溶液电导达到规定范围，此过程容器需要保温；

步骤三：之后对溶液定容调节pH在6-9范围内，得到氧化锡浆料；

步骤四：对氧化锡浆料进行固液分离得到湿料；

步骤五：对湿料干燥得到氧化锡前驱体；

步骤六：对氧化锡前驱体焙烧得到氧化锡粉末；

步骤七：对氧化锡粉末球磨，球磨后分级混合得到成品。

2.如权利要求1所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：所述步骤一锡粒加入为匀速加入，锡粒加入时间即反应时间为4-7h。

3.如权利要求1所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：

所述步骤三定容调节pH具体为：加水定容至一定浓度，搅拌大于10min后，继续搅拌的同时定量定速加入10wt%-20wt%的氨水溶液，调节溶液pH在6-9范围内。

4.如权利要求1所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：所述步骤四固液分离具体为：首先对氧化锡浆料采用1000目-2300目的滤布进行过滤，再采用离心的方式进行固液分离。

5.如权利要求1所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：所述步骤五湿料干燥具体为：干燥温度不大于150℃，采用低温烘干+高温烘干进行多段烘干，其中低温烘干过程中，进行初次破碎。

6.如权利要求1所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：所述步骤六焙烧具体为：将氧化锡前驱体装入坩埚中，粉末扎眼，放入焙烧炉，设定温度为600℃-1000℃，升温速率不大于6℃/min，保温时间2h-6h，焙烧得到不同粒度要求和分布的氧化锡粉末。

7.如权利要求1所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：所述步骤七球磨具体为：对氧化锡粉末干法球磨，料球比1:1—1:5之间，球磨时间不大于48h，锆球种类Ø2+Ø5+Ø10，装填比不大于70%。

8.如权利要求7所述ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法，其特征在于：所述步骤七分级混合具体为：对球磨的料球分离过筛，随后粉末进行分级后混合，分级目数大于100目，混合时间大于1h，装填比小于70%，再进行取样检测。