[发明专利]一种碳纤维晶圆搬运手指及其制作方法

权利要求书

1.一种碳纤维晶圆搬运手指，其特征在于它包括上下两块碳纤维薄片，以及两块碳纤维薄片之间的环氧树脂胶膜，在搬运手指的内部开设有真空气道，在碳纤维薄片上开设有与真空气道相通的吸附孔及抽气孔，吸附孔与抽气孔分别位于真空气道的两端。

2.根据权利要求1所述的碳纤维晶圆搬运手指，其特征在于所述的碳纤维薄片的厚度为0.4毫米。

3.根据权利要求1所述的碳纤维晶圆搬运手指，其特征在于所述的环氧树脂胶膜的厚度为0.2毫米。

4.根据权利要求1所述的碳纤维晶圆搬运手指，其特征在于所述的碳纤维薄片的平面度小于0.05微米。

5.一种碳纤维晶圆搬运手指的制作方法，其特征在于，

步骤1：将碳纤维预浸料成型放入模具中，然后在热压罐高温固化，制得两块厚度为0.4毫米的碳纤维薄片；

步骤2：利用CNC加工中心在两块碳纤维薄片上分别加工出真空气道的上腔和下腔；

步骤3：在两块碳纤维薄片中间插入一片0.2毫米厚度的环氧树脂胶膜，环氧树脂胶膜在真空气道投影位置镂空，两块碳纤维薄片与环氧树脂胶膜组合后内部形成真空气道；将组合后的两块碳纤维薄片与环氧树脂再次进热压罐高温固化，得到一片1毫米厚度的碳纤维手指毛胚；

步骤4：根据图纸在CNC加工中心加工碳纤维手指外形尺寸，固定孔位，吸附孔位、抽气孔位；

步骤5：去除产品毛刺，所有加工面涂覆环氧树脂，放入烤箱在60℃温度下烘干2小时，制得碳纤维晶圆搬运手指。

6.根据权利要求5所述的碳纤维晶圆搬运手指的制作方法，其特征在于在步骤1和步骤3在热压罐内高温固化的温度均为200℃，持续时间均为3小时。