[发明专利]具有用于重定向光的非对称光栅的超表面及其制造方法

权利要求书

1.一种光学系统，包括：

光学透射基板，其包括超表面，所述超表面包括：

包含多个单位基元的光栅，每个单位基元包括，如在自顶向下视图中所见：

具有第一宽度的横向伸长的第一纳米梁；以及

与所述第一纳米梁隔开一间隙的横向伸长的第二纳米梁，所述第二纳米梁具有大于所述第一宽度的第二宽度；以及

反射器，其中所述反射器和所述基板位于所述光栅的相反两侧。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述反射器与所述光栅间隔开。

3.根据权利要求2所述的光学系统，其中所述光栅被嵌入在光学透射材料中。

4.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述光学透射材料将所述反射器与所述光栅隔开。

5.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述基板包括：

第二超表面，其位于所述基板的与所述超表面相对的一侧，所述第二超表面包括：

第二光栅，其包括多个第二单位基元，每个第二单位基元包括，如在自顶向下视图中所见：

横向伸长的第三纳米梁；以及

横向伸长的第四纳米梁，其与所述第三纳米梁隔开一间隙，

其中所述第四纳米梁比所述第三纳米梁宽。

6.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述单位基元横向伸长并且彼此平行。

7.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述超表面被配置为将可见波长的入射光衍射成第一衍射级。

8.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述第二宽度为10nm至1μm。

9.根据权利要求8所述的光学系统，其中所述第二宽度为10nm至300nm。

10.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述单位基元的间距为10nm至1μm。