[发明专利]可实现两级啁啾补偿的可调谐激光器、电子设备及制备方法有效
| 申请号: | 202110771182.2 | 申请日: | 2021-07-07 |
| 公开(公告)号: | CN113488842B | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
| 发明(设计)人: | 章雅平 | 申请(专利权)人: | 山东中芯光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/00 | 分类号: | H01S5/00;H01S5/125 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张体南 |
| 地址: | 250101 山东省济南市中国(山东)自由贸易试*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 实现 两级 啁啾 补偿 调谐 激光器 电子设备 制备 方法 | ||
1.一种可实现两级啁啾补偿的可调谐激光器,其中,包括:
衬底,
DBR结构,设置于所述衬底上,其中包括:
增益区,用于产生和输出光信号,并接收第一射频信号;以及
相位区,与所述增益区并排设置在所述衬底上,用于对所述光信号进行微调谐,并在所述增益区接收第一射频信号的同时,接收第二射频信号,以对DBR结构的正向啁啾光信号进行第一级啁啾补偿,以生成啁啾效应削弱后的正向啁啾输出光信号作为第一级输出正向啁啾信号,其中,所述第一射频信号与所述第二射频信号的强度或相位不同;以及
电吸收结构,与所述DBR结构在水平方向上相邻并设置于所述衬底上,其中,所述电吸收结构用于接收第三射频信号,以对接收的所述第一级输出正向啁啾信号进行第二级啁啾补偿,其中,所述第三射频信号与所述第一射频信号之间具有相位差。
2.根据权利要求1所述的可调谐激光器,其中,所述DBR结构还包括:
第一光栅区,与所述增益区之间间隔所述相位区、并排设置于所述衬底上,用于对经过所述相位区微调谐的光信号进行主调谐。
3.根据权利要求2所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构包括:
电吸收区,与所述相位区之间间隔所述增益区、并排设置于所述衬底上,用于接收所述第三射频信号以引入负向啁啾效应,以对接收的所述第一级输出正向啁啾信号进行第二级啁啾补偿。
4.根据权利要求2所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构包括:
电吸收区,与所述相位区之间间隔所述第一光栅区、并排设置于所述衬底上,用于接收所述第三射频信号引入负向啁啾效应,以对接收的所述第一级输出正向啁啾信号进行第二级啁啾补偿。
5.根据权利要求3所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构还包括:
光放大区,设置于所述第一光栅区和所述电吸收区之间,用于对所述DBR结构的输出光信号进行光功率放大,在所述可调谐激光器的电吸收结构一端采用直波导结构或弯波导结构。
6.根据权利要求4所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构还包括:
光放大区,与所述第一光栅区之间间隔所述电吸收区、并排设置于所述衬底上,用于对所述DBR结构的输出光信号进行光功率放大,在所述可调谐激光器的电吸收结构一端采用直波导结构或弯波导结构。
7.根据权利要求1所述的可调谐激光器,其中,所述DBR结构还包括:
第二光栅区,位于所述增益区和所述相位区之间,用于对所述增益区输出的光信号进行主调谐;
第三光栅区,与所述第二光栅区之间间隔所述相位区、并排设置于所述衬底上,用于对经过所述相位区微调谐的光信号进行主调谐。
8.根据权利要求7所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构包括:
电吸收区,与所述相位区之间间隔所述第三光栅区、并排设置于所述衬底上,用于接收所述第三射频信号以引入负向啁啾效应,以对接收的所述第一级输出正向啁啾信号进行第二级啁啾补偿。
9.根据权利要求7所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构包括:
电吸收区,与所述第二光栅区之间间隔所述增益区、并排设置于所述衬底上,用于接收所述第三射频信号以引入负向啁啾效应,以对接收的所述第一级输出正向啁啾信号进行第二级啁啾补偿。
10.根据权利要求8所述的可调谐激光器,其中,所述电吸收结构还包括:
光放大区,与所述第三光栅区之间间隔所述电吸收区、并列设置于所述衬底上,用于对所述DBR结构的输出光信号进行光功率放大,在所述可调谐激光器电吸收结构一端采用直波导结构或弯波导结构。
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