[发明专利]薄膜涂层结构的层间应力检测方法、计算机装置及计算机可读存储介质

权利要求书

1.薄膜涂层结构的层间应力检测方法，其特征在于，包括：

获取形成在基材上的薄膜涂层的厚度，确定热源在所述薄膜涂层表面的位置，以所述热源在所述薄膜涂层与所述基材所在的界面上的对应点为原点，计算所述热源关于所述原点镜像对称的第一类对称点中的第一对称点，并计算所述第一对称点关于所述热源镜像对称的第二类对称点中的第二对称点；

计算所述第一类对称点的后续对称点以及所述第二类对称点的后续对称点：每一所述第一类对称点关于所述原点与相对应的第二类对称点对称，每一所述第二类对称点关于所述热源与相对应的上一第一类对称点对称；

计算每一所述第一类对称点的层间应力以及所述第二类对称点的层间应力，形成所述薄膜涂层结构的层间应力曲线；

其中，计算每一所述第一类对称点的层间应力以及所述第二类对称点的层间应力包括：

获取预先设定的二维通解，并获取所述薄膜涂层的表面自由边界条件、所述薄膜涂层与所述基材连接的界面条件，设定用六个级数函数表示的两个调和函数；

将所述调和函数代入所述二维通解中，利用所述薄膜涂层的表面自由边界条件、所述薄膜涂层与所述基材连接的界面条件，计算递推方程组，按递推关系，计算获得所有四个级数函数，并确定所有所述第一类对称点与所述第二类对称点的解析解。

2.根据权利要求1所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法，其特征在于：

所述递推方程组由六个方程组成。

3.根据权利要求1所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法，其特征在于：

按递推关系计算获得所有四个级数函数包括：获取预先设定的点热源作用于无限平面表面的格林函数，并按递推关系计算所有四个级数函数。

4.根据权利要求1所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法，其特征在于：

所述二维通解为各向同性材料的二维通解。

5.根据权利要求1至4任一项所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法，其特征在于：

所述基材为第一金属材料，所述薄膜涂层为第二金属材料。

6.根据权利要求5所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法，其特征在于：

所述第一金属材料为钢，所述第二金属材料为铜。

7.计算机装置，其特征在于，包括处理器及存储器，所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至6任一项所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法的各个步骤。

8.计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于：所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6任一项所述的薄膜涂层结构的层间应力检测方法的各个步骤。