[发明专利]一种超薄薄膜力学性能测量装置和力学性能测量方法

权利要求书

1.一种超薄薄膜力学性能测量装置，其特征在于，包括：

操作箱，其内部设置有减震平台；

精密二维移动平台，其固定设置在所述减震平台的一端，所述精密二维移动平台的对称中心位置处固定设置有精密可控升降机构，所述精密可控升降机构固定连接有转接杆，所述转接杆的下端固定连接有视觉定位模块和固定底座，所述固定底座的下端可拆卸连接有压头；

固定支架，其固定设置在所述减震平台的另一端，所述固定支架上固定设置有视觉辅助模块和湿度传感器；

XY平移台，其固定设置在所述减震平台上，且所述XY平移台位于精密二维移动平台与固定支架之间；所述XY平移台上固定设置有Z轴平移台，所述Z轴平移台通过限位卡槽镶嵌有分析天平，所述分析天平上设置有薄膜工装，所述薄膜工装包括限位台和薄膜固定柱，所述限位台放置在分析天平的固定托盘中，所述薄膜固定柱可拆卸设置在限位台上；

分子筛干燥柱，其固定设置在所述减震平台上，且所述分子筛干燥柱位于固定支架和XY平移台之间；

加湿器，其固定设置在所述减震平台上，且所述加湿器位于精密二维移动平台和XY平移台之间。

2.如权利要求1所述的超薄薄膜力学性能测量装置，其特征在于，所述精密二维移动平台的结构包括：

横向导轨Ⅰ，其固定设置在所述减震平台的上表面，所述横向导轨Ⅰ上滑动设置有横向滑座Ⅰ，所述横向滑座Ⅰ中固定设置有丝母Ⅰ，横向滑座Ⅰ的上端固定设置有纵向导轨Ⅰ；

所述减震平台上固定安装有步进电机Ⅰ，所述步进电机Ⅰ的电机轴固定连接有丝杆Ⅰ，所述丝杆Ⅰ穿设在丝母Ⅰ中，所述丝杆Ⅰ与减震平台转动连接；

所述纵向导轨Ⅰ滑动连接有纵向滑座Ⅰ，所述纵向滑座Ⅰ中固定设置有丝母Ⅱ，所述纵向滑座Ⅱ的一端固定安装有步进电机Ⅱ，所述步进电机Ⅱ的电机轴固定连接有丝杆Ⅱ，所述丝杆Ⅱ穿设在丝母Ⅱ中，且所述丝杆Ⅱ与纵向滑座Ⅰ为转动连接。

3.如权利要求2所述的超薄薄膜力学性能测量装置，其特征在于，所述精密可控升降机构的结构包括：

安装板，其固定设置在所述纵向滑座Ⅰ的上表面，所述安装板的上端固定设置有气缸，所述气缸的气缸轴与所述转接杆固定连接，所述安装板上开设有竖直槽，所述安装板与纵向滑座Ⅰ之间和竖直槽中均固定设置有多根导向杆，所述导向杆与转接杆为滑动连接。

4.如权利要求1所述的超薄薄膜力学性能测量装置，其特征在于，所述XY平移台的结构包括：

两个对称设置的横向导轨Ⅱ，其固定设置在所述减震平台上，所述横向导轨Ⅱ滑动连接有横向滑座Ⅱ；所述横向滑座Ⅱ上固定设置有纵向导轨Ⅱ，所述纵向导轨Ⅱ滑动连接有纵向滑座Ⅱ，所述Z轴平移台固定设置在纵向滑座Ⅱ上；

所述减震平台上固定设置有横向固定板，所述横向固定板螺纹连接有横向调节螺杆，所述横向调节螺杆的端部与横向滑座Ⅱ转动连接；

所述横向滑座Ⅱ的一端固定设置有纵向固定板，所述纵向固定板螺纹连接有纵向调节螺杆，所述纵向调节螺杆的端部与纵向滑座Ⅱ转动连接。

5.如权利要求4所述的超薄薄膜力学性能测量装置，其特征在于，所述Z轴平移台的结构包括：

固定底板，其固定设置在所述纵向滑座Ⅱ上，所述固定底板的一端固定设置有竖直板，所述竖直板上固定设置有竖直导轨；

竖直滑座，其一端设置有燕尾槽，所述竖直滑座通过燕尾槽与竖直导轨滑动连接，所述分析天平通过限位卡槽镶嵌在竖直滑座上；所述竖直滑座转动连接有竖直调节杆，所述竖直调节杆的底端与固定底板螺纹连接；

所述固定底板上固定设置有两根竖直限位杆，所述竖直限位杆活动穿设在竖直滑座中。

6.如权利要求5所述的超薄薄膜力学性能测量装置，其特征在于，所述竖直滑座中固定设置有滚珠轴承，所述竖直调节杆通过滚珠轴承与竖直滑座转动连接；

所述竖直调节杆上开设有环形槽，所述环形槽位于竖直滑座的下方，所述环形槽中通过滚珠轴承转动连接有环形圈；所述竖直滑座上一体成型设置有两个限位板，所述限位板分居竖直调节杆的两侧，所述限位板上开设有通孔，所述通孔中穿设有限位销，且所述限位销的端部与环形圈为螺纹连接，所述竖直滑座的下表面开设有两个与限位销相适配的限位槽。