[发明专利]应用辉光放电质谱分析小尺寸导电和非导电材料的方法

权利要求书

1.一种应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，包括如下步骤：

(1)将石墨粉置于铝杯中，轻轻振荡铝杯，使石墨粉表面平整；

(2)将小尺寸导电材料或非导电材料置于石墨粉上；

(3)盖上数层硫酸纸；

(4)用压片机压紧，制成测试样品；

(5)进行直流辉光放电质谱分析。

2.根据权利要求1所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：所述的铝杯高为3-10mm，直径为20-30mm。

3.根据权利要求1所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：所述石墨粉的纯度大于等于99.9999wt％；铝杯中加入石墨粉的厚度为2-8mm。

4.根据权利要求1所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：所述的小尺寸导电材料或非导电材料的样品尺寸小于辉光放电质谱仪溅射斑点尺寸，形状为颗粒状、屑状或粉末状。

5.根据权利要求4所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：所述小尺寸导电材料是指颗粒状或屑状金属材料；所述小尺寸非导体材料是指氧化物粉末或无机化合物粉末。

6.根据权利要求5所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：所述小尺寸导电材料是指屑状金属镱；所述非导电材料是指氧化镱粉末。

7.根据权利要求6所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：待分析的小尺寸导电材料在使用前，先进行清洗，然后晾干；所述的清洗为：先用体积比为1:10的硝酸和超纯水的混合溶液超声清洗，再于超纯水中超声两次，最后用乙醇清洗。

8.根据权利要求1所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：小尺寸导电材料在石墨粉上排列尽量紧凑，样片上待分析导电材料的尺寸覆盖辉光放电质谱仪溅射斑点尺寸。

9.根据权利要求1所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：石墨粉上小尺寸非导电材料的尺寸小于辉光放电质谱仪溅射斑点尺寸，直径为4～6mm，厚度为0.1-1mm。

10.根据权利要求1所述的应用辉光放电质谱分析小尺寸导电材料和非导电材料的方法，其特征在于：所述压片机的压力为5～10MPa。