[发明专利]基于互联网方式的设备远程预测性维护系统及方法

权利要求书

1.一种基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述系统包括：数据采集模块、数据库管理模块和预测维护模块；

所述数据采集模块与微电子制造装备连接，用于实时采集所述微电子制造装备的运行状态信息；

所述数据库管理模块与所述数据采集模块连接，用于接收和存储所述运行状态信息；

所述预测维护模块与所述数据库管理模块连接，用于提取所述数据库管理模块存储的所述运行状态信息，并根据提取的所述运行状态信息进行所述微电子制造装备的状态趋势预测、剩余寿命预测和维护方案确定。

2.根据权利要求1所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述微电子制造装备包括：打孔机、印刷机和/或划片机。

3.根据权利要求1所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述预测维护模块包括：状态趋势预测子模块、剩余寿命预测子模块和维护决策子模块；

所述状态趋势预测子模块与所述数据库管理模块连接，用于根据所述运行状态信息预测所述微电子制造装备的运行状态发展趋势；

所述剩余寿命预测子模块分别与所述数据库管理模块和所述状态趋势预测子模块连接，用于根据所述运行状态信息和所述发展趋势预测所述微电子制造装备的剩余使用寿命；

所述维护决策子模块分别与所述数据库管理模块、所述状态趋势预测子模块和所述剩余寿命预测子模块连接，用于根据所述运行状态信息、所述发展趋势和所述剩余使用寿命确定维护方案。

4.根据权利要求3所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述预测维护模块还包括状态显示子模块，所述状态显示子模块与所述状态趋势预测子模块连接，用于显示所述微电子制造装备的运行状态发展趋势信息。

5.根据权利要求3或4所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述预测维护模块还包括寿命显示子模块，所述寿命显示子模块与所述剩余寿命预测子模块连接，用于显示所述微电子制造装备的剩余使用寿命信息。

6.根据权利要求3、4或5所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述预测维护模块还包括决策显示子模块，所述决策显示子模块与所述维护决策子模块连接，用于显示所述维护方案信息。

7.根据权利要求6所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统，其特征在于，所述预测维护模块能够允许用户根据实际情况选择灰度模型或线性回归模型的预测模型进行数据预测。

8.一种基于互联网方式的设备远程预测性维护方法，其特征在于，所述方法利用权利要求1至7中任一项所述的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统实现，所述方法包括：

获取微电子制造装备的运行状态信息；

根据运行状态信息，利用预测模型预测微电子制造装备的运行状态发展趋势；

根据运行状态信息和微电子制造装备的运行状态发展趋势，预测微电子制造装备的剩余使用寿命；

根据运行状态信息、微电子制造装备的运行状态发展趋势和剩余使用寿命，确定维护方案。

9.根据权利要求8所述的设备远程预测性维护方法，其特征在于，所述方法还包括：

确定微电子制造装备的关键零部件，获取关键零部件的运行状态信息。

10.根据权利要求9所述的设备远程预测性维护方法，其特征在于，针对微电子制造装备中的打孔机，采用打孔机冲针作为打孔机的关键零部件，预测模型采用灰度预测模型，并且允许用户根据实际情况进行参数调节；

针对微电子制造装备中的印刷机，采用印刷机刮刀作为印刷机的关键零部件，预测模型采用线性回归预测模型；

针对微电子制造装备中的划片机，采用划片机刀片作为划片机的关键零部件，预测模型采用线性回归预测模型。