[发明专利]一种柔性激光剥蚀池及工作方法

说明书

本发明公开了一种柔性激光剥蚀池及工作方法，包括激光系统、柔性剥蚀池和样品台座，柔性剥蚀池设有TPR罩壳，TPR罩壳顶部连接上支撑板，TPR罩壳的下部外周连接有下固定柔性环，上支撑板和下固定柔性环之间连接有若干全丝螺杆，全丝螺杆通过固定螺母调节TPR罩壳底部的高度，TPR罩壳底部贴附密封到样品表面，TPR罩壳和样品之间形成密闭腔体，样品检测部位成为柔性剥蚀池的底座；样品放置到样品台座设有的样品托台上，样品托台的两侧设有夹板，样品托台底部通过转盘连接旋转电机，旋转电机底部连接升降气缸，控制样品托台的旋转和升降；本发明将所测样品某点所在的样品变成激光剥蚀池密闭腔体的基底，实现对样品进行多点定位分析。

技术领域

本发明涉及激光剥蚀和样品等离子质谱分析技术领域，具体涉及一种柔性激光剥蚀池及工作方法。

背景技术

微区原位分析(in-situ microanalysis)目前在原子能、生物学、医药、化学、环境科学、食品科学、法医学、刑侦科学、化工、石油化工、地质学、宇宙学等领域成为必要的分析手段。其分析方法也正在不断发展和完善之中，所用仪器设备各不相同。

目前LA-ICP-MS常用的激光剥蚀池只能对厚度≤1cm、直径≤4cm的小体积样品进行分析。而在地质、环境、考古等领域中，有些大体积、不可破坏的珍贵样品(如古化石、珍贵陨石、外星物质，大的地幔包体、古陶瓷、古玉器、古铜器等)，由于样品的特殊和稀有性，不能进行破坏性的前处理。专利ZL201710101519.2无定形激光剥蚀池在一定程度上满足了大体积无定形样品的原位分析。但是该专利仍像传统的激光剥蚀池一样，是将样品放入剥蚀池内。这样对于超大体积或形状特殊的一些样品的某些部位的定位分析，该专利所用设备将无法满足要求，无法对该类样品进行定点定位分析。因此，迫切需要设计一种样品和剥蚀池结合为一体的柔性激光剥蚀池，以解决现有激光剥蚀池只能把样品放到剥蚀池内的局限性以及不能对样品进行多位置定点定位分析的问题。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种柔性激光剥蚀池及工作方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种柔性激光剥蚀池，包括激光系统、柔性剥蚀池和样品台座，所述柔性剥蚀池设有TPR罩壳，TPR罩壳顶部连接上支撑板，TPR罩壳的下部外周连接有下固定柔性环，用于支撑固定TPR罩壳，上支撑板和下固定柔性环之间连接有若干全丝螺杆，全丝螺杆通过固定螺母调节TPR罩壳底部的高度，用于TPR罩壳底部贴附密封到样品表面，TPR罩壳和样品之间形成密闭腔体，用于样品检测部位的平面成为柔性剥蚀池的底座；

样品放置到样品台座设有的样品托台上，样品托台的两侧设有夹板，用于对样品进行稳定固定，样品托台底部通过转盘连接旋转电机，旋转电机底部连接升降气缸，用于控制样品托台的旋转和升降。

具体的是，所述下固定柔性环上设有与全丝螺杆相适配的螺纹孔，用于全丝螺杆底部固定到下固定柔性环上，上支撑板与下固定柔性环相对位置设有通孔，全丝螺杆上部穿过通孔，全丝螺杆上且在上支撑板的上下分别设有上固定螺母和下固定螺母，用于通过调节上固定螺母和下固定螺母控制每侧上支撑板和下固定柔性环之间的距离。

具体的是，所述上支撑板中部设有观察窗，观察窗内安装有氟化钙玻璃，用于激光系统的激光束通过氟化钙玻璃进入密闭腔体内，激光束由激光系统设有的激光发射器射出，激光系统与柔性剥蚀池共同固定，用于激光束照射柔性剥蚀池的底部中心位置。

具体的是，所述上支撑板上且在观察窗处安装有监控支架，监控支架上安装有定点监控摄像机，定点监控摄像机连接监控主机成像，定点监控摄像机定焦为激光束照射的柔性剥蚀池底部中心位置，用于微调样品上的待测点位与激光束照射点位重合。

具体的是，所述TPR罩壳上还设有进气管孔和出气管孔，用于控制载气进出。