[发明专利]用于激光诱导的材料分配的套件和系统

说明书

本申请涉及用于激光诱导的材料分配的套件和系统。公开了一种用于激光诱导的分配系统的材料供应套件。所述材料供应套件包括暗盒组合件，所述暗盒组合件具有用于供应箔片的供带盘和用于收取所述箔片的收带盘，所述箔片具有缠绕所述供带盘的透光层。所述材料供应套件还包括涂覆装置，其用于在所述箔片的移动过程中通过供体材料涂覆所述箔片。

本申请是分案申请，原申请的申请日为2017年7月13日，申请号为201780050011.2，发明名称为“用于激光诱导的材料分配的套件和系统”。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年7月17日提交的美国临时申请号62/363,278的权益，其公开内容通过引用整体明确地并入本文。

技术领域

在本公开的一些实施例中，本公开涉及材料分配，并且更具体地但非排他地，涉及激光诱导的材料分配。

背景技术

通过为特定目的设计各种材料的能力，许多技术得以实现，促进或改进。可以用于限定材料中的图案或以期望的图案沉积材料的图案化技术的实例包含接触光刻、投影光刻、丝网印刷、喷墨印刷和各种直接写入技术。

直接写入技术被认为是有利的，因为其允许快速沉积材料和在其中限定的图案，而无需产生掩模的中间步骤，这是传统光刻工艺通常所需的。已知几种直接写入技术。这些包含喷墨印刷、激光化学气相沉积(LCVD)、激光工程纳米成形(LENS)和激光诱导的正向转移(LIFT)。

在LIFT中，脉冲激光束被引导通过激光透明目标基板以撞击涂覆在目标基板的相对侧上的材料膜。当激光吸收激光辐射时，激光使薄膜材料蒸发，并且由于动量的转移，材料从目标基板上移除并再次沉积在放置在目标基板附近的收容基板上。

激光诱导的正向转移通常用于将不透明薄膜(通常是金属)从预涂覆的激光透明支撑体转移到收容基板。采用激光诱导的正向转移的各种设备是已知的。例如，美国公开申请号2014/0160452公开了一种设备，其中更新供体以使材料能够继续沉积。更新可以是新的供体结构替代暴露期间使用的供体结构、供体结构上供体材料的再生、使用卷起的柔性膜、或使用传送系统将新的供体结构输送到沉积区。

此外，传统的LIFT系统缓慢、昂贵，并且通常仅能够在收容基板上沉积单一材料。

通常，“LIFT系统”方式及其对长期稳健性的要求使得所有创新者都只能使用永久性零件优化连续交付。这种约束增加了系统的复杂性并降低了提供多材料、材料混合和可变涂层厚度的能力方面的灵活性。

此外，例如，在传统的LIFT系统中，激光器很大并且形成打印头的一部分；因此，打印头不能制作得紧凑(即，因为激光器集成在打印头中)。此外，在基板上连续沉积供体材料液滴和扫描仪的线性移动之间的等待时间使得传统的LIFT打印头变慢。因此，为了使传统的LIFT系统以合理的速率运行，必须为传统的LIFT系统提供非常昂贵的光学器件。

并且，传统的LIFT系统的缺点在于，当其彼此相邻地沉积两个液滴时，需要在液滴之间等待几毫秒。在此期间，不能进行打印以避免材料干扰。该等待时间或“放松时间”是不利的，因为其降低了LIFT系统的吞吐量。

另外的背景技术包含美国专利号4,752,455、4,895,735、5,725,706、5,292,559、5,492,861、5,725,914、5,736,464、4,970,196和5,173,441。

发明内容

根据本公开的一些实施例的特征，提供了一种用于激光诱导的分配系统的材料供应套件。所述材料供应套件包括暗盒组合件，其具有用于供应箔片的供带盘和用于收取所述箔片的收带盘，所述箔片具有缠绕所述供带盘的透光层；以及涂覆装置，其用于在所述箔片的移动过程中通过供体材料涂覆所述箔片。