[发明专利]一种光纤调节组件

说明书

本申请实施例公开了一种光纤调节组件，便于满足套刻测量对光源的入射方位的调整需求，包括：光纤安装座、调节本体座、基座组件及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；光纤安装座用于装载调节本体座，基座组件用于承载调节本体座；第一方向调节组件和第二方向调节组件分别用于调整光纤安装座在第一方向上和第二方向上与调节本体座的相对位置；第三方向调节组件用于调整光纤安装座在第三方向上与基座组件的相对位置；倾斜面调节组件和俯仰面调节组件，分别用于调整光纤安装座相对于基座组件的第一角度和第二角度。

技术领域

本申请实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种光纤调节组件。

背景技术

随着半导体技术的不断发展，人们对测量光刻后的晶圆套刻误差提出了更高的要求，基于衍射光探测的套刻测量技术(DBO：diffraction-based overlay)也正逐步取代传统的基于成像和图像识别的套刻测量技术(IBO：imaging-based overlay)成为套刻测量的主要技术手段，而针对套刻测量的检测装置也有了深入研讨。

现有的一种基于衍射光的检测装置包括光源、光源调节组件、光路设备及探测单元等部件。为适应晶圆的高精度制程要求，首先需要由光源调节组件对光源发出的检测光进行偏移和/或俯仰等方位调整，以改变检测光到光路设备中的镜筒的入射方位，然后由光路设备对检测光进一步处理后发送至用于套刻误差测量的探测单元。

但是，现有的光源调节组件对光源各个入射方位的调整是相互关联的，当需要对光源某一入射方位做调整时，其他入射方位也会因为关联性而发生不必要的变动，进而产生机械误差或光源偏差等误差项，影响套刻测量的精度。

发明内容

本申请实施例提供了一种光纤调节组件，便于满足套刻测量对光源的入射方位的调整需求。

本申请实施例提供的一种光纤调节组件，包括：光纤安装座、调节本体座、基座组件及第一方向调节组件、第二方向调节组件、第三方向调节组件、倾斜面调节组件和俯仰面调节组件中的至少一种调节组件；

光纤安装座装载在调节本体座内，基座组件用于承载调节本体座；

第一方向调节组件装设于调节本体座，用于调整光纤安装座在第一方向上与调节本体座的相对位置；

第二方向调节组件装设于调节本体座，用于调整光纤安装座在第二方向上与调节本体座的相对位置，第一方向与第二方向垂直或具有锐角夹角；

第三方向调节组件，用于调整光纤安装座在第三方向上与基座组件的相对位置，第三方向沿调节本体座和基座组件的排列方向；

倾斜面调节组件一部分装设于调节本体座，用于绕第一旋转轴线调整光纤安装座相对于基座组件的第一角度；

俯仰面调节组件一部分装设于调节本体座，用于绕第二旋转轴线调整光纤安装座相对于基座组件的第二角度，第二角度与第一角度垂直或具有锐角夹角。

可选地，第一方向调节组件包括第一调节螺栓和第一限位模组；

调节本体座的侧面在第一方向上相对设置有第一横孔和第一开槽；

第一调节螺栓贯穿第一横孔，以抵接光纤安装座；

第一限位模组通过第一开槽装设于调节本体座，与第一调节螺栓配合，以引导光纤安装座调整在第一方向上与调节本体座的相对位置。

可选地，光纤调节组件还包括：位于光纤安装座和调节本体座之间的复位弹簧，复位弹簧套设于第一调节螺栓上。

可选地，第一限位模组包括第一导向块和第一固定块；

第一导向块装设于第一开槽内，第一固定块将第一导向块固定在调节本体座；