[发明专利]一种医用DLC薄膜玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种医用DLC薄膜玻璃，其特征在于，包括玻璃衬底以及依次设置于所述玻璃衬底表面的第一缓冲层、第二缓冲层、DLC膜层和修饰层，其中：

所述修饰层为F掺杂的DLC膜层或Ag掺杂的DLC膜层。

2.如权利要求1所述的一种医用DLC薄膜玻璃，其特征在于，所述第一缓冲层为SiO_x层，其中0.01≤x≤2，所述第二缓冲层为SiC层或SiO_yC层，其中0.01≤y≤2。

3.如权利要求1所述的一种医用DLC薄膜玻璃，其特征在于，所述第一缓冲层为Ti层，所述第二缓冲层为TiN层。

4.一种医用DLC薄膜玻璃的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)对玻璃衬底进行预处理；

(2)制备第一缓冲层：

利用等离子体增强化学气相沉积的方式在经过预处理的玻璃衬底上制备SiO_x,得到玻璃衬底/SiO_x层，其中0.01≤x≤2；

(3)制备第二缓冲层：

利用等离子体增强化学气相沉积的方式在SiO_x层上制备SiC或SiO_yC,得到玻璃衬底/SiO_x/SiC层或玻璃衬底/SiO_x/SiO_yC层，其中0.01≤y≤2；

(4)制备DLC膜层：

利用等离子体增强化学气相沉积的方式在SiC层或SiO_yC层上制备DLC膜层，得到玻璃衬底/SiO_x/SiC/DLC层或玻璃衬底/SiO_x/SiO_yC/DLC层；

(5)制备修饰层：

利用等离子体增强化学气相沉积的方式在DLC膜层制备F掺杂的DLC膜层或Ag掺杂的DLC膜层，完成后即得到医用DLC薄膜玻璃。

5.如权利要求4所述的一种医用DLC薄膜玻璃的制备方法，其特征在于，步骤(1)包括以下步骤：

(11)选用对应形状和尺寸的治具装载玻璃衬底；

(12)使用丙酮将玻璃衬底超声清洗15分钟以上，完成后进入步骤(13)；

(13)使用酒精将玻璃衬底超声清洗15分钟以上，完成后进入步骤(14)；

(14)用氮气吹干玻璃衬底，放置于鼓风机中于60～120℃干燥15～120分钟。

6.如权利要求4所述的一种医用DLC薄膜玻璃的制备方法，其特征在于，步骤(2)包括以下步骤：

采用硅烷作为Si源或TMR源，调控O₂流量在5～200SCCM，制备SiO_x层，SiO_x层的厚度为5～200nm；

步骤(3)包括以下步骤：

Si源采用SiH₄，C源采用CH₄或C₂H₂，控制O₂流量为5-200SCCM，制备SiC层或SiO_xC层，SiC层或SiO_xC层的厚度5～200nm；

步骤(4)包括以下步骤：

制备温度控制在150～300℃，C源采用CH₄或C₂H₂，控制H₂流量为0～200SCCM，控制Ar流量为10～500SCCM，控制O₂流量为0～200SCCM，制备DLC膜层，DLC膜层的厚度为100～1000nm。