[发明专利]一种斜入射式共焦布里渊光谱测量系统和方法

权利要求书

1.一种斜入射式共焦布里渊光谱测量系统，其特征在于，包含：照明模块、光谱激发模块、光谱探测模块、参考模块、分光平片；

所述照明模块用于产生偏振方向可选的线偏振激光作为系统入射光；

所述系统入射光经所述分光平片透射进入到所述参考模块中，反射进入到所述光谱激发模块中；

所述参考模块中的标准样品经激发产生的布里渊散射光被收集后，经所述分光平片反射进入所述光谱探测模块；

所述光谱探测模块，用于对所述标准样品的布里渊散射光进行布里渊光谱探测，得到其背向布里渊散射光谱频移值和对称方向布里渊散射光谱频移值；

所述光谱激发模块中的待测样品经激发产生的布里渊散射光被收集后，经所述分光平片透射进入所述光谱探测模块；

所述光谱探测模块，还用于对所述待测样品的布里渊散射光进行布里渊光谱探测，得到其背向布里渊散射光谱频移值和对称方向布里渊散射光谱频移值；

所述光谱探测模块包含：探测光阑、旋转架、检偏器、收集透镜、共焦针孔、布里渊光谱仪；

所述探测光阑置于所述旋转架上，其上包含有一个探测光瞳；

所述标准样品经激发产生的布里渊散射光被收集后，经所述分光平片进入所述光谱探测模块，经所述探测光阑的探测光瞳和检偏器后，通过所述收集透镜和共焦针孔实现微区空间滤波，最后进入所述布里渊光谱仪，得到标准样品的背向布里渊散射光谱频移值；

经对称位置放置的探测光瞳和检偏器后，通过所述收集透镜和共焦针孔实现微区空间滤波，最后进入所述布里渊光谱仪，得到标准样品的对称方向布里渊散射光谱频移值；

所述待测样品经激发产生的布里渊散射光被收集后经所述分光平片进入所述光谱探测模块，

分别经探测光瞳和对称位置放置的探测光瞳、再经检偏器后、通过所述收集透镜和共焦针孔、进入所述布里渊光谱仪，得到待测样品的背向布里渊散射光谱频移值和对称方向布里渊散射光谱频移值。

2.如权利要求1所述的斜入射式共焦布里渊光谱测量系统，其特征在于，所述照明模块包含：连续激光器、扩束系统、激发光阑、二分之一波片、起偏器，所述激发光阑上有一个激发光瞳；

由连续激光器发射出的激光经所述扩束系统扩束后，通过激发光阑的激发光瞳得到激发光瞳范围内的有效激发光束，经所述二分之一波片及起偏器后得到所述系统入射光。

3.如权利要求1所述的斜入射式共焦布里渊光谱测量系统，其特征在于，所述参考模块包含聚焦物镜、载物台、标准样品，所述光谱激发模块包含测量物镜、三维平移台、待测样品；

所述标准样品放置于所述载物台上，所述系统入射光经所述分光平片透射进入到所述聚焦物镜，透射后照射到所述标准样品上，所述标准样品激发的布里渊散射光经所述聚焦物镜收集后，经所述分光平片反射，进入所述光谱探测模块；

所述待测样品放置于所述三维平移台上，所述系统入射光经所述分光平片反射进入到所述测量物镜，透射后照射到所述待测样品上，所述待测样品激发的布里渊散射光经所述测量物镜收集后，经所述分光平片透射，进入所述光谱探测模块；

所述测量物镜和聚焦物镜的有效数值孔径及焦距相同。

4.如权利要求3所述的斜入射式共焦布里渊光谱测量系统，其特征在于，所述三维平移台可带动所述待测样品进行三维移动，得到待测样品的三维背向布里渊散射光谱频移值和对称方向布里渊散射光谱频移值，进而得到待测样品的三维折射率分布。