[发明专利]一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110757584.7 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113604778A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 周志宏;雷雨;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州一锐专利代理有限公司 44369 | 代理人： | 朱蓉艳 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 太阳能电池 azo 及其 制备 方法 | ||
1.一种应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S01、将锌盐和铝盐加入到第一溶剂中，分散均匀，配制成第一溶液；
S02、将草酸加入到第二溶剂中，分散均匀，配制成第二溶液；
S03、将第二溶液加入到第一溶液中，在水浴下混合均匀，得到浆料，在常温下挥发去除溶剂，静置，干燥，烧结，得到前驱体粉末；
S04、将前驱体粉末加入到去离子水中，分散均匀，置于超声波处理器中，超声处理，干燥，得到氧化锌铝粉体；
S05、将氧化锌铝粉末压制成型，得到坯块；
S06、将坯块烧结，得到靶材。
2.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述锌盐为二水合乙酸锌，所述铝盐为乙酰丙酮铝。
3.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述第一溶剂为无水乙醇，所述第二溶剂为去离子水或乙醇。
4.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述静置时间为24~48h，所述S03中烧结温度为400~550℃，所述烧结时间为1~3h。
5.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述压制成型采用冷等静压成型，所述冷等静压成型的压力为100~160MPa。
6.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述超声处理功率为1000~1200W，所述超声处理时间为25~50min。
7.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述S06中的烧结采用微波烧结法进行烧结，具体为：
将坯块置于微波烧结炉中，在微波功率为200~500W、微波频率2000~2400MHz下，以8~15℃/min升温至700~800℃，保持10~20min；
调节微波功率为600~800W、微波频率为2500~2800MHz，以8~15℃/min升温至1100~1250℃，保持30~70min；
随炉自然冷却。
8.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述锌盐、铝盐、草酸重量比为：100：1~3：101~103草酸；
所述锌盐与第一溶剂的重量比为1：3~6；
所述草酸与第二溶剂的重量比为1：3~6。
9.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法，其特征在于，所述S04中前驱体粉末与去离子水重量比为1：3~6。
10.一种应用于太阳能电池的AZO靶材，其特征在于，采用权利要求1~9任一所述的应用于太阳能电池的AZO靶材的制备方法制备得到。
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