[发明专利]一种环形光瞳共焦布里渊显微系统

权利要求书

1.一种环形光瞳共焦布里渊显微系统，其特征在于，包含：照明模块、分光平片、环形光阑、测量物镜、光谱探测模块；

所述照明模块用于产生偏振方向可选的线偏振激光作为入射光；

所述入射光经所述分光平片反射进入所述环形光阑，经环形光阑整形后通过所述测量物镜聚焦于待测样品上，所述环形光阑的光瞳系数应小于0.9；

待测样品经激发产生的布里渊散射光被所述测量物镜收集，进入所述环形光阑，经所述环形光阑调制后通过所述分光平片透射到所述光谱探测模块；

所述光谱探测模块，用于收集探测待测样品的布里渊散射光光谱；

所述照明模块包含：连续激光器、扩束系统、二分之一波片、起偏器；

所述连续激光器出射的激光经过扩束系统扩束、二分之一波片和起偏器后得到偏振方向可选的线偏振激光；

所述光谱探测模块包含：检偏器、收集透镜、共焦针孔、布里渊光谱仪；

所述待测样品经激发产生的布里渊散射光被所述测量物镜收集，进入所述环形光阑，经所述环形光阑调制后通过所述分光平片、检偏器、收集透镜后会聚在所述共焦针孔中，再被所述布里渊光谱仪收集探测；

所述系统还包含：三维平移台，所述三维平移台用于放置待测样品，进行三维移动。

2.如权利要求1所述的环形光瞳共焦布里渊显微系统，其特征在于，所述环形光阑通过以下至少一种方式实现：数字微反射镜阵列、空间光调制器或挡光板。

3.如权利要求1所述的环形光瞳共焦布里渊显微系统，其特征在于，所述环形光阑的调整误差小于等于环形光阑外圆半径的1%。

4.如权利要求1所述的环形光瞳共焦布里渊显微系统，其特征在于，所述共焦针孔的归一化针孔半径为2.5±0.2。