[发明专利]一种抛光液回收的过滤系统

说明书

本发明公开了一种抛光液回收的过滤系统，包括液体收集筒、输送管、废液收集筒、搅拌杆和搅拌叶，液体收集筒的外部设有废液收集筒，废液收集筒一侧的液体收集筒外壁上安装有输送管，废液收集筒的顶端安装有进液口，且进液口的底端延伸至废液收集筒的内部，废液收集筒远离液体收集筒的一侧设有压缩机，压缩机远离废液收集筒的一侧设有水液分离器，水液分离器的底端安装有排水管，且排水管的顶端延伸至水液分离器的内部，排水管上方的水液分离器外部设有循环管路。本发明不仅实现了过滤系统对抛光液高效的回收利用，解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，降低了生产成本，而且提高了过滤系统的工作效率。

技术领域

本发明涉及过滤系统技术领域，具体为一种抛光液回收的过滤系统。

背景技术

化学机械抛光技术是迄今唯一可以提供全局平坦化的表面精加工技术，目前已广泛用于继承电路芯片和微型机械系统等表面的平坦化，随着加工工件的尺寸越来越大，且加工精度逐渐提高，化学机械抛光作为适合这一需求的技术，现已发展成为抛光过程中的必然选择，例如微电子工艺金属抛光都只使用一次，整体影响成本较大，抛光液一般包括水、磨料、各种化学试剂等，抛光液使用过程中，化学试剂与被抛材料发生反应，生成各种离子，另外在加工过程中由于环境温度冷热差的原因，抛光液产生结晶颗粒，以上离子及结晶颗粒对被抛材料产生二次损伤和污染，废弃的抛光液一般都中和处理，排到废液池，造成了污染和很大的浪费，因此需要一种抛光液回收的过滤系统，对使用后的抛光液进行回收，回收后搭配一种抛光液回收过滤系统，以经过滤系统后，得以控制抛光液粒径、浓度、粘度、pH等相关技术参数，达到抛光液的二次利用效果，来降低加工成本。

如授权公告号为CN109227398A所公开的一种抛光液过滤系统，其虽然实现了使抛光液过滤或更换时，大大减少了占用抛光机的工作时间，使抛光机停机时间减少，使用效率增加，但是并未解决现有抛光液回收的过滤系统不便于对抛光液高效的回收利用，严重的影响了过滤系统使用时的便利程度，大大的提高了过滤系统使用时的生产成本的问题，为此我们提出一种抛光液回收的过滤系统。

发明内容

本发明的目的在于提供一种抛光液回收的过滤系统，以解决上述背景技术中提出过滤系统不便于对抛光液高效的回收利用的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种抛光液回收的过滤系统，包括液体收集筒、输送管、废液收集筒、搅拌杆和搅拌叶，所述液体收集筒的外部设有废液收集筒，所述废液收集筒一侧的液体收集筒外壁上安装有输送管，所述废液收集筒的顶端安装有进液口，且进液口的底端延伸至废液收集筒的内部，所述废液收集筒远离液体收集筒的一侧设有压缩机，所述压缩机远离废液收集筒的一侧设有水液分离器，所述水液分离器的底端安装有排水管，且排水管的顶端延伸至水液分离器的内部，所述排水管上方的水液分离器外部设有循环管路，且循环管路的一端延伸至水液分离器的内部，并且循环管路的另一端延伸至输送管的内部。

优选的，所述液体收集筒的外部设有药液调配器，所述药液调配器下方的液体收集筒外部设有成品收集区。

优选的，所述废液收集筒的内部安装有搅拌杆，所述搅拌杆的外壁上安装有驱动架，所述驱动架的外壁上安装有搅拌叶，且搅拌叶的外壁与驱动架固定连接，实现了过滤系统对沉积的颗粒快速的清洗。

优选的，所述搅拌杆上方的废液收集筒顶端安装有步进电机，步进电机的型号为MR-J2S-20A，所述步进电机的输出端通过联轴器安装有第二转轴。

优选的，所述液体收集筒的内部设有传动杆，所述传动杆的外壁上安装有混合叶。

优选的，所述混合叶上方的液体收集筒顶端安装有伺服电机，伺服电机的型号为MR-J4S-20A，所述伺服电机的输出端通过联轴器安装有第一转轴，实现了过滤系统对浓缩后磨粒快速均匀的分布。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该过滤系统不仅实现了过滤系统对抛光液高效的回收利用，解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，降低了生产成本，而且提高了过滤系统的工作效率；