[发明专利]一种基于光斑改善激光诱导击穿光谱长期稳定性的方法有效

专利信息
申请号: 202110754943.3 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN113624745B 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 王哲;侯宗余;刘家岑;宋惟然;崔佳诚;顾炜伦;李政 申请(专利权)人: 清华大学;清华大学山西清洁能源研究院
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71;G06N3/04;G06N3/08;G06N20/10
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 陈英俊
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 光斑 改善 激光 诱导 击穿 光谱 长期 稳定性 方法
【权利要求书】:

1.一种基于光斑改善激光诱导击穿光谱长期稳定性的方法,其特征在于该方法包括以下步骤:

1)在激光器出口放置一个分光镜,将出射激光分为两束,在其中一束激光后设置光束质量分析仪,得到光斑图像;另一束激光聚焦到样品表面,得到光谱;

2)不人为改变实验条件,每天获得至少30幅的光斑图像和30个光谱,测量天数至少为10天,共获得n幅光斑图像Pi和n个谱线强度Ii

3)将n幅光斑图像和n个光谱随机划分为训练集和测试集,将训练集所有天的平均光谱强度定义为标准光谱强度I

4)利用下式计算训练集光谱强度I相对于标准光谱强度I的相对偏差e;将训练集的光斑图像P作为模型输入,将相对偏差e作为模型输出,使用机器学习算法,建立基于光斑的光谱修正模型:

其中,e为训练集光谱强度相对于标准光谱强度的相对偏差;

I为训练集光谱强度;I为标准光谱强度;

5)将n幅光斑图像Pi作为输入代入模型,获得光谱相对偏差ei,使用ei对所有光谱的强度进行修正,得到修正后的光谱强度I,完成对光谱的修正:

其中,I:修正后光谱强度;

Ii:所有光谱强度,i=1,2,...n,n为光谱总数;

ei:实测光谱强度相对于标准光谱强度的相对偏差。

2.如权利要求1所述的一种基于光斑改善激光诱导击穿光谱长期稳定性的方法,其特征在于,所述的机器学习算法为线性或非线性算法,包括偏最小二乘算法、支持向量机算法或神经网络算法。

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