[发明专利]一种基于光斑改善激光诱导击穿光谱长期稳定性的方法有效
申请号: | 202110754943.3 | 申请日: | 2021-07-01 |
公开(公告)号: | CN113624745B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 王哲;侯宗余;刘家岑;宋惟然;崔佳诚;顾炜伦;李政 | 申请(专利权)人: | 清华大学;清华大学山西清洁能源研究院 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71;G06N3/04;G06N3/08;G06N20/10 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 光斑 改善 激光 诱导 击穿 光谱 长期 稳定性 方法 | ||
1.一种基于光斑改善激光诱导击穿光谱长期稳定性的方法,其特征在于该方法包括以下步骤:
1)在激光器出口放置一个分光镜,将出射激光分为两束,在其中一束激光后设置光束质量分析仪,得到光斑图像;另一束激光聚焦到样品表面,得到光谱;
2)不人为改变实验条件,每天获得至少30幅的光斑图像和30个光谱,测量天数至少为10天,共获得n幅光斑图像Pi和n个谱线强度Ii;
3)将n幅光斑图像和n个光谱随机划分为训练集和测试集,将训练集所有天的平均光谱强度定义为标准光谱强度I标;
4)利用下式计算训练集光谱强度I训相对于标准光谱强度I标的相对偏差e训;将训练集的光斑图像P训作为模型输入,将相对偏差e训作为模型输出,使用机器学习算法,建立基于光斑的光谱修正模型:
其中,e训为训练集光谱强度相对于标准光谱强度的相对偏差;
I训为训练集光谱强度;I标为标准光谱强度;
5)将n幅光斑图像Pi作为输入代入模型,获得光谱相对偏差ei,使用ei对所有光谱的强度进行修正,得到修正后的光谱强度I修,完成对光谱的修正:
其中,I修:修正后光谱强度;
Ii:所有光谱强度,i=1,2,...n,n为光谱总数;
ei:实测光谱强度相对于标准光谱强度的相对偏差。
2.如权利要求1所述的一种基于光斑改善激光诱导击穿光谱长期稳定性的方法,其特征在于,所述的机器学习算法为线性或非线性算法,包括偏最小二乘算法、支持向量机算法或神经网络算法。
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