[发明专利]单晶炉石墨中轴管道透视窗装置在审
| 申请号: | 202110731838.8 | 申请日: | 2021-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN113308729A | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
| 发明(设计)人: | 李小锋;曹玉宝;李军;李方;李美平;韩建峰;王建波;刘军军 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;G01N21/17 |
| 代理公司: | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人: | 吴忠义 |
| 地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶炉 石墨 中轴 管道 透视 装置 | ||
本发明公开了单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,包括石墨中轴和管道,管道套接于石墨中轴的上部,管道下端通过固定件固定连接于石墨中轴的表面,管道的旁侧两侧均开设有安装孔,安装孔内均安装有透视窗,其中一个透视窗远离石墨中轴的一侧设置有激光发射器,另一个透视窗远离石墨中轴的一侧设置有激光接收器,本发明所达到的有益效果包括:本发明设置有透视窗、激光发射器和激光接收器,当石墨中轴氧化变细时,激光发射器发射光线穿过透视窗会被相对的激光接收器接收,激光接收器会将信号传输至警报器,使得警报器发出警报提醒使用者,可以及时提醒操作者石墨中轴已经被氧化,采取措施,降低安全风险,减少资源浪费。
技术领域:
本发明属于晶棒生产设备技术领域,特别涉及单晶炉石墨中轴管道透视窗装置。
背景技术:
单晶炉是用于制造晶棒的设备,在晶棒制造过程中,一般通过单晶炉内的石墨加热器将多晶材料熔化,再进行拉制,但晶棒制造过程中,石墨中轴可能会出现氧化现象,存在重大安全事故的风险和材料的浪费。
现有技术下,单晶炉上没有设置监测设备,无法在生产时及时知晓石墨中轴是否氧化,可能存在重大风险,导致不必要的资源浪费。
发明内容:
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,解决了单晶炉上没有设置监测设备,无法在生产时及时知晓石墨中轴是否氧化变细,造成重大安全隐患和资源浪费等缺点。
为了解决上述问题,本发明提供了一种技术方案:
单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,包括石墨中轴和管道,所述管道套接于石墨中轴的上部,所述管道下端通过固定件固定连接于石墨中轴的表面,所述管道的旁侧两侧均开设有安装孔,所述安装孔内均安装有透视窗,其中一个所述透视窗远离石墨中轴的一侧设置有激光发射器,另一个所述透视窗远离石墨中轴的一侧设置有激光接收器。
优选的,两个所述安装孔相互靠近的一侧孔径小于两个安装孔相互远离的一侧孔径,所述安装孔的两侧均开设为阶梯型,每个所述透视窗靠近石墨中轴的一侧均贴合于相应的安装孔的两侧阶梯型转角处,每个所述透视窗的边缘两侧中部均设置有固定机构。
优选的,所述固定机构均包括固定边框,每个所述固定边框均固定连接于相应的透视窗边缘,所述固定边框的两侧中部均螺纹连接有螺栓,每个所述螺栓均贯穿固定边框且螺纹连接于相应的安装孔的阶梯型孔壁处,每个所述透视窗均与石墨中轴的纵向中轴线平行设置,两个所述透视窗相对设置于同一高度。
优选的,其中一个所述透视窗远离石墨中轴的一侧中部固定连接有一号安装套筒,所述激光发射器安装于一号安装套筒的内部,所述激光发射器的发射端与相应的透视窗中部相对,另一个所述透视窗远离石墨中轴的一侧中部固定连接有二号安装套筒,所述激光接收器安装于二号安装套筒的内部,所述激光接收器的接收端与相应的透视窗中部相对,所述激光发射器的发射端与激光接收器的接收端相对设置。
优选的,所述一号安装套筒与二号安装套筒的筒壁两侧均开设有侧孔,所,所述一号安装套筒上的两个限位机构分别设置于激光发述侧孔内均设置有限位机构射器的两侧,所述二号安装套筒上的两个限位机构分别设置于激光接收器的两侧。
优选的,所述限位机构均包括内块,每对所述内块分别固定连接于相应的一对侧孔内壁相互远离的一侧,所述内块的中部均滑动连接有连接杆,每对所述连接杆相互靠近的一端均固定连接有限位块,所述连接杆上均套接有弹簧,每个所述弹簧均设置于相应的限位块与内块之间,每对所述连接杆相互远离的一端均固定连接有握把,所述握把均设置于相应的侧孔外部,所述激光接收器的两侧中部夹持于一对限位块之间,所述激光发射器的两侧夹持于另一对限位块之间。
优选的,所述管道的一侧中下部表面安装有警报器,所述警报器的控制器与激光接收器电性连接。
本发明的有益效果包括:
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