[发明专利]一种免光刻快速制备微流控芯片的方法在审

专利信息
申请号: 202110716620.5 申请日: 2021-06-25
公开(公告)号: CN113289703A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 李颖;覃珊珊;杨运煌;胡锐;刘买利 申请(专利权)人: 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 代理人: 江丽丽
地址: 430071 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 快速 制备 微流控 芯片 方法
【权利要求书】:

1.一种免光刻快速制备微流控芯片的方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)激光切割胶带:根据需要选择不同层数的胶带贴在平板上,利用激光切割胶带形成具有微通道的结构;

(2)制备阳模:将具有微通道结构的胶带转移至干净的基片上,然后在胶带的微结构处均匀涂上正光刻胶,待光刻胶固定后移走胶带,得到正光刻胶阳模;

(3)浇注PDMS:将PDMS和固化剂均匀混合并排气泡后浇注到正光刻胶阳模上,待PDMS固化后将制得的PDMS板从阳模上切下,打孔、封接得到PDMS芯片。

2.根据权利要求1所述的免光刻快速制备微流控芯片的方法,其特征在于,所述基片为平整的板块,优选硅片或载玻片。

3.根据权利要求1所述的免光刻快速制备微流控芯片的方法,其特征在于,所述PDMS与固化剂比例为10:1。

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