[发明专利]一种MPCVD设备天线装置

说明书

本发明公开了一种MPCVD设备天线装置，包括天线本体，所述天线本体顶部设置有盖板，所述盖板与天线本体之间形成密闭的容纳空腔，所述天线本体顶部沿轴心处设置有进水通道，进水通道外侧设置有独立的出水通道，通过进水通道向天线本体内壁注水对天线本体冷却并且通过出水通道排出用于冷却天线本体；密封空腔内部的水可以通过中壁管与外壁管之间的出水通道向上流动，从而经过出水块上的出水卡套接头向外排出，可以充分对天线本体进行冷却和降温，由于天线本体设置为倒锥形，在实际使用时，微波反馈低，微波传导损耗小，获得的等离子火焰能量密度大，对称性好，并且温度分布均匀，获得的等离子火焰可控性好。

技术领域

本发明涉及MPCVD技术领域，特别涉及一种MPCVD设备天线装置。

背景技术

MPVCD设备中使用的天线是核心部件，不同生产商有不同的设计，取决于微波电源和腔体的设计。不同的天线对等离子火焰产生不同的影响，目的都是为了获得最低的微波反馈，降低微波损耗，并获得可控的等离子火焰。

但是目前的MPVCD设备在使用时，微波电源产生的微波导入腔体内，微波传导过程损耗较大，获得的等离子火焰形状不理想，等离子火焰可控性差，并且冷却效果较差，导致其使用寿命受限。

因此，有必要提供一种MPCVD设备天线装置解决上述技术问题。

发明内容

一要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种MPCVD设备天线装置，以解决上述背景技术中现有微波电源产生的微波导入腔体内，微波传导过程损耗较大，获得的等离子火焰形状不理想，等离子火焰可控性差，并且冷却效果较差，导致其使用寿命受限的问题。

二技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种MPCVD设备天线装置，包括天线本体，所述天线本体顶部设置有盖板，所述盖板与天线本体之间形成密闭的容纳空腔，所述天线本体顶部沿轴心处设置有进水通道，进水通道外侧设置有独立的出水通道，通过进水通道向天线本体内壁注水对天线本体冷却并且通过出水通道排出用于冷却天线本体。

具体使用时，将进气盘螺纹连接在天线本体底部，将盖板与天线本体进行焊接，使得盖板与天线本体之间形成密封的容纳空腔，有利于后期水可以流动至容纳空腔内部对天线本体进行冷却降温。

作为本发明的进一步方案，所述天线本体设置为倒锥形，所述天线本体内部底端设置有凸台。

具体使用时，天线本体设置为倒锥形，在实际使用时，微波反馈低，微波传导损耗小，获得的等离子火焰能量密度大，对称性好，并且温度分布均匀，获得的等离子火焰可控性好，使得获得的等离子火焰呈椭球型，外形几何对称，实测温度分布均匀，利于晶体生长，批量生产稳定性好。

作为本发明的进一步方案，所述天线本体底部设置有通槽，所述通槽处设置有进气盘，所述进气盘上设置有贯穿的排气孔，所述进气盘与天线本体螺纹连接。

具体使用时，通过进气管送气，然后通过进气盘上的排气孔排出，通过设置有通槽有利于进气盘的安装，并且便于进气盘的拆卸。

作为本发明的进一步方案，所述天线本体顶部设置有进气管，所述进气管外侧设置有外壁管。

具体使用时，通过设置有进气管有利于输送气体。

作为本发明的进一步方案，所述进气管外侧设置有进水块，所述进水块底部设置有出水块，所述进水块与出水块通过焊接相固定，所述进气管和外壁管之间设置有中壁管，所述中壁管与进水块相固定。

具体使用时，通过设置有进水块和出水块有利于向天线本体内部的容纳空腔输送液体。