[发明专利]矫正装置

权利要求书

1.一种矫正装置，其特征在于，所述矫正装置包括：

位姿获取机构，用于在机械臂将掩膜板移动至卡匣上方且放置于所述卡匣所定义的支撑面上之前，获取所述掩膜板与所述卡匣的相对位姿；

位姿调整机构，用于驱动所述卡匣相对所述掩膜板运动；

控制机构，用于控制所述位姿获取机构获取所述掩膜板与所述卡匣的所述相对位姿，以及根据所述相对位姿和所述掩膜板与所述卡匣之间的标准位姿控制所述位姿调整机构驱动所述卡匣相对所述掩膜板运动；

其中，所述位姿获取机构包括：

第一测距机构和第二测距机构，沿平行于所述支撑面的第一方向间隔，所述第一测距机构用于沿平行于所述支撑面且垂直于所述第一方向的第二方向分别测量所述第一测距机构到所述掩膜板的第一掩膜板边缘以及所述卡匣的第一卡匣边缘之间的第一距离和第二距离，所述第二测距机构用于沿所述第二方向分别测量所述第二测距机构到所述第一掩膜板边缘以及所述第一卡匣边缘的第三距离和第四距离；

第三测距机构，用于沿所述第一方向分别测量所述第三测距机构到所述掩膜板的第二掩膜板边缘以及所述卡匣的第二卡匣边缘的第五距离和第六距离；

其中，所述位姿调整机构至少包括三个驱动件，所述三个驱动件中的第一驱动件和第二驱动件设置成能够沿平行于所述支撑面的第一坐标轴驱动所述卡匣进行平移，第三驱动件设置成能够沿平行于所述支撑面且垂直于第一坐标轴的第二坐标轴驱动所述卡匣进行平移，进而使得所述卡匣能够相对所述掩膜板进行位置和角度调整。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第二坐标轴间隔设置，所述第三驱动件与所述第一驱动件和所述第二驱动件中的一个沿所述第一坐标轴间隔设置。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制机构根据所述第一距离、所述第二距离、所述第三距离以及所述第四距离计算所述第一掩膜板边缘与第一卡匣边缘之间的夹角，并控制所述位姿调整机构驱动所述卡匣相对所述掩膜板旋转，而使所述第一掩膜板边缘与第一卡匣边缘彼此平行；

以及，所述控制机构在所述第一掩膜板边缘与第一卡匣边缘彼此平行后，根据重新测量获得的所述第一距离、所述第二距离、所述第五距离和所述第六距离确定所述第一掩膜板边缘与第一卡匣边缘之间的第一间距以及所述第二掩膜板边缘以及所述第二卡匣边缘之间的第二间距，并控制所述位姿调整机构驱动所述卡匣相对所述掩膜板平移，而使所述第一间距和所述第二间距达到预设值。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述控制机构根据所述第一距离、所述第三距离以及所述第一测距机构与所述第二测距机构之间的直线距离，计算所述第一掩膜板边缘与所述第一方向之间的第一角度，以及根据测量而产生的所述第二距离、所述第四距离以及所述第一测距机构与所述第二测距机构之间的直线距离，计算所述第一卡匣边缘与所述第一方向之间的第二角度，然后计算所述第一角度与所述第二角度的差值而得到所述第一掩膜板边缘与所述第一卡匣边缘之间的夹角，进而控制所述位姿调整机构驱动所述卡匣相对所述掩膜板旋转所述夹角，而使所述第一掩膜板边缘与第一卡匣边缘彼此平行。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述控制机构计算所述第一距离与所述第二距离的第一差值，以及所述第三距离与所述第四距离的第二差值，并控制所述位姿调整机构驱动所述卡匣相对所述掩膜板旋转，直至所述第一差值与所述第二差值相等。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一测距机构、所述第二测距机构以及所述第三测距机构分别包括两个子测距元件，其中一个子测距元件与所述掩膜板共面设置，另一个与所述卡匣的所述支撑面共面设置。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述矫正装置进一步包括升降机构，用于在垂直于所述支撑面的方向上传送所述第一测距机构、所述第二测距机构和/或第三测距机构，进而使其能够与所述掩膜板和所述卡匣的所述支撑面共面设置。