[发明专利]一种兼容性ITO蚀刻液及制备方法

权利要求书

1.一种兼容性ITO蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括硝酸10%～30%、硫酸10%～20%、金属盐1%~10%、铵盐0.5%-3%，余量为纯水；所述金属盐为醋酸钠，所述铵盐为氟化铵。

2.根据权利要求1所述的兼容性ITO蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括硝酸15%、硫酸10%、金属盐5%、铵盐0.5%，余量为纯水。

3.根据权利要求1所述的兼容性ITO蚀刻液，其特征在于：所述硝酸为电子级，所述硝酸浓度为71wt% 。

4.根据权利要求1所述的兼容性ITO蚀刻液，其特征在于：所述硫酸为电子级，所述硫酸浓度为98wt% 。

5.一种权利要求1-4任一所述的兼容性ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将硝酸、硫酸、金属盐、铵盐按重量百分比分别为10%～30%、10%～20%、1%~10%、0.5%-3%，其余为纯水的配比称重配置；

（2）在配料罐中依次加入硝酸、纯水、金属盐、铵盐，充分搅拌，混合均匀；

（3）往混合均匀的硝酸、纯水、金属盐、铵盐的混合物中缓慢加入硫酸，充分搅拌，混合均匀得到所述兼容性ITO蚀刻液。

6.根据权利要求5所述的兼容性ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于：所述搅拌为机械搅拌或磁力搅拌，所述搅拌是在常温常压下进行，搅拌速度为50~100r/min。