[发明专利]一种MEMS衍射波导显示装置在审
| 申请号： | 202110703123.1 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113433694A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李会会;王丙杰;张威;李双龙;史晓刚 | 申请（专利权）人： | 北京枭龙科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/01 | 分类号： | G02B27/01 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;付久春 |
| 地址： | 100144 北京市石景山*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 衍射 波导 显示装置 | ||
1.一种MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，包括：
衍射波导显示组件(500)、MEMS扫描镜(631)和激光发射器(610)；其中，
所述MEMS扫描镜(631)与激光发射器(610)分设在所述衍射波导显示组件(500)的两侧组成MEMS激光扫描系统，该MEMS扫描镜(631)与激光发射器(610)的位置与所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)位置对应；
所述入射光栅(512)上设有激光入射通孔(518)，所述激光发射器(610)的激光能通过所述激光入射通孔(518)直接入射到所述MEMS扫描镜(631)上；
所述MEMS扫描镜(631)设置在所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)上方。
2.根据权利要求1所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述MEMS扫描镜(631)水平设置在所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)上方。
所述激光发射器(610)设置在所述入射光栅(512)底部的波导基板(501)的底面的下方。
3.根据权利要求1所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述激光入射通孔(518)位于所述入射光栅(512)的中心处。
4.根据权利要求1至3任一项所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述激光入射通孔(518)的直径不小于所述激光发射器(610)发射激光的直径。
5.根据权利要求1至3任一项所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述激光发射器(610)采用红、绿、蓝三色激光器；或者激光发射器采用单色激光器；
所述MEMS扫描镜(631)采用一个二维MEMS扫描镜，或者，所述MEMS扫描镜采用扫描轴互相垂直的两个一维MEMS扫描镜。
6.根据权利要求1至3任一项所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述衍射波导显示组件(500)包括：与所述入射光栅(512)间隔设置的转折光栅(514)，以及与所述转折光栅(514)间隔设置的出射光栅(516)。
7.根据权利要求1至3任一项所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述衍射波导显示组件(500)包括：与所述入射光栅(512)间隔设置的二维出射光栅。
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