[发明专利]一种多通道大面积高密度直流电弧等离子体源

权利要求书

1.一种多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，包括：阴极、阴极座、阳极和级联片单元，所述阴极固定于阴极座上，所述级联片单元设置在阴极座与阳极之间，所述级联片单元包括多个平行叠置的级联片；所述阴极座与级联片之间，相邻级联片之间，级联片与阳极间设置有绝缘件和真空密封橡胶圈；所述阴极座、级联片和阳极分别配合的设置有多个通孔，每个通孔与阴极1连通，构成放电通道，每个放电通道具有独立的进气通道。

2.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述级联片单元包括3-9个平行设置的级联片。

3.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述阴极为由纯钨或其合金制成，纯钨或其合金外由不锈钢外壳密封。

4.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述阴极座、级联片和阳极的材料为铜或钢，放电通道内与等离子体接触处材料为钨、钼或其合金。

5.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述绝缘件材料为绝缘陶瓷或聚四氟乙烯。

6.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述阴极座和级联片为圆柱形，所述阳极为开口逐渐增大的喇叭形。

7.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述放电通道为7个时，所述阴极座、级联片和阳极上的七个放电通道为点-圆分布，即周围六个通道分别位于一正六边形的六个顶点。

8.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述阴极座、级联片和阳极内部设置水冷通道，每个部件的水冷通道彼此独立。

9.根据权利要求1所述多通道大面积高密度直流电弧等离子体源，其特征在于，所述每个放电通道在靠近阴极位置分别具有独立的进气管道。