[发明专利]一种基于长周期光栅的模斑转换器有效
| 申请号： | 202110692353.2 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113376743B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陈开鑫;邓佳瑶;余夏蓉;王梦柯 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B6/124 |
| 代理公司： | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 李林合 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 周期 光栅 转换器 | ||
1.一种基于长周期光栅的模斑转换器，其特征在于，从下到上依次包括：基底（1）、缓冲层（2）、高折射率波导芯（3）、长周期光栅（4）和低折射率上包层条形波导（5）；
所述缓冲层（2）的一面与基底（1）固定连接，其另一相对面与高折射率波导芯（3）的一面固定连接；所述高折射率波导芯（3）的另一相对面用于刻蚀，得到长周期光栅（4）；所述高折射率波导芯（3）的另一相对面和长周期光栅（4）均与低折射率上包层条形波导（5）固定连接；所述低折射率上包层条形波导（5）包裹长周期光栅（4），所述低折射率上包层条形波导（5）对准光纤；
所述低折射率上包层条形波导（5）用于将光纤激发出的基模光信号传输至长周期光栅（4），所述长周期光栅（4）用于将输入的基模光信号耦合传输至高折射率波导芯（3），所述高折射率波导芯（3）用于将输入的基模光信号稳定传输进入光子芯片。
2.根据权利要求1所述的基于长周期光栅的模斑转换器，其特征在于，所述高折射率波导芯（3）的类型为脊型波导结构。
3.根据权利要求1所述的基于长周期光栅的模斑转换器，其特征在于，所述刻蚀的工艺包括：电感耦合等离子体工艺。
4.根据权利要求1所述的基于长周期光栅的模斑转换器，其特征在于，所述长周期光栅（4）包括：多个光刻栅体（41）和多个凹槽（42）；所述光刻栅体（41）和凹槽（42）的数量相同，并交叉成周期排列，一个光刻栅体（41）和其相邻的一个凹槽（42）构成一个周期。
5.根据权利要求4所述的基于长周期光栅的模斑转换器，其特征在于，在模斑转换器的输入端输入到低折射率上包层条形波导（5）中光信号经长周期光栅（4）耦合进入高折射率波导芯（3），成为该高折射率波导芯（3）支持的模式。
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