[发明专利]一种基于氧化镍的宽温域高精度温度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于氧化镍的宽温域高精度温度传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）浆料配制：

分别称取氧化镍粉末、成膜剂、表面活性剂和溶剂，经超声分散后，得到氧化镍浆料；

所述成膜剂为聚酰亚胺溶液、乙基纤维素、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或多种的组合；

所述表面活性剂为十六烷基三甲基溴化铵、十二烷基硫酸钠中的一种或两种的组合；

氧化镍与成膜剂的质量之比为0.1-0.9：1；氧化镍与表面活性剂的质量之比为1：0-0.1；

（2）温度敏感层制备：

取基底，先进行预处理，再将所述氧化镍浆料均匀涂敷于所述基底上，加热固化后，制得温度敏感层；

（3）叉指电极的制备

在步骤（2）所述温度敏感层的上面制备电极；

（4）PDMS封装

将PDMS旋涂在步骤（3）所得电极的上面，固化后，即得所述温度传感器。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述溶剂为N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺中的一种或两种的组合。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，氧化镍与溶剂的质量比为1：0.5-5。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，所述基底为刚性基底或柔性基底；

所述刚性基底包括氮化铝、氧化硅、玻璃中的一种或多种的组合；所述柔性基底为PI、PET中的一种或两种的组合。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在步骤（4）进行PDMS封装之前，还包括剥离的步骤，以将基底剥离出来；所述剥离的具体操作为：

将步骤（3）制备电极后的器件置于去离子水中浸泡，直至器件与基底脱附。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，所述加热固化为：先在60-90℃加热1h，再在120-180℃加热1h后，完成固化。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，制备电极的方法采用金属蒸镀、刮涂或磁控溅射中的任一种；

电极材料为银、钛、铜、金、铂中的任一种；

所述电极的厚度为10nm-10um。

8.权利要求1-7任一项所述制备方法制备得到的宽温域高精度温度传感器。