[发明专利]一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯

权利要求书

1.一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于，其包括：

杯盖，其包括一厚度方向贯穿的入射孔；

杯体，其包括有一厚度方向内凹的内凹盲孔；

绝缘底托，其用于隔绝样品台和杯体；

所述杯盖盖装于所述杯体的上表面，所述入射孔朝向所述内凹盲孔设置；

其还包括有一绝缘导线，所述绝缘导线的内层金属芯一端连接所述杯体，所述绝缘导线的内层金属芯的另一端用于连接高精度测电流装置；

所述杯盖和杯体均为导体材质，所述绝缘底托为绝缘材料。

2.如权利要求1所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯盖为带有第一厚度的第一圆柱体，所述杯体为带有第二厚度的第二圆柱体，所述第二厚度大于第一厚度，所述第一圆柱体的直径等于第二圆柱体的直径。

3.如权利要求1所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯盖和杯体均为黄铜材质，所述绝缘底托为ECTFE树脂材料。

4.如权利要求1所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：其还包括有一石墨柱体，所述石墨柱体插装于所述内凹盲孔内，所述石墨柱体的上表面为斜面，所述石墨柱体的上表面和杯体的上平面之间留有间距。

5.如权利要求4所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯体的底部设置有预留顶出孔，所述预留顶出孔的上部连通至所述内凹盲孔，所述预留顶出孔用于将石墨柱体顶出内凹盲孔。

6.如权利要求1所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述入射孔包括厚度方向的上部微孔、下部锥形口，所述锥形口的顶部连通微孔，所述锥形口的下部直径和所述内凹盲孔的直径相同，杯盖盖装于所述杯体后、所述锥形口位于所述内凹盲孔的正上方布置。

7.如权利要求6所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述杯盖的厚度方向下部对应于锥形口的底部区域设置有导向孔，所述导向孔的直径和所述内凹盲孔的直径相同。

8.如权利要求4所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述石墨柱体的外环壁紧贴所述内凹盲孔的内壁。

9.如权利要求1所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述绝缘底托包括支承托盘、支承脚，所述支承托盘的下部中心区域设置有下凸支承脚，所述支承托盘的上表面中心内凹形成圆柱凹槽，所述杯体嵌装于所述圆柱凹槽内，且所述杯体的外壁贴合所述圆柱凹槽的内环壁布置。

10.如权利要求4所述的一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯，其特征在于：所述石墨柱体的上表面的斜面朝向内层金属芯连接所述杯体的位置布置。