[发明专利]一种夹取芯片的镊子在审
申请号: | 202110688598.8 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113305750A | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 陈少康;陈伟;吉贵军;周赤;徐长达;金亚;班德超;王健;翟鲲鹏;李明;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所;珠海光库科技股份有限公司 |
主分类号: | B25B9/02 | 分类号: | B25B9/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周天宇 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 镊子 | ||
本发明提供一种夹取芯片的镊子,用于夹取芯片,所述夹取芯片的镊子包括两个夹臂和限位结构;每一所述夹臂具有沿其长度方向呈相对设置的连接端及夹持端,所述两个夹臂的两个所述连接端相连接,所述两个夹臂的两个所述夹持端能够沿相互靠近的夹持方向活动;限位结构,包括限位件,所述限位件的长度可调地设于所述两个夹臂的所述两个夹持端之间;其中,所述两个夹臂的所述两个夹持端上均设有用以夹取芯片的金属片。通过限位件控制镊臂的闭合,起到缓冲作用,使用底端的金属片夹取芯片,增大接触面积,减免芯片夹取带来的损伤。本发明提供的夹取芯片的镊子无需调节,操作简单,有效降低夹取芯片带来的损伤。
技术领域
本发明涉及半导体芯片技术领域,特别涉及夹取芯片专用的一种夹取芯片的镊子。
背景技术
半导体芯片的尺寸与一般夹取物品的尺寸相比非常小,大致在几十微米到几百微米之间,目前采用的夹取方式有两种,一种是采用真空吸嘴的方式,此方案常用于一些自动化设备中,另一种更为常用的方式是采用底端非常尖锐的镊子在光学显微镜下夹取芯片。采用镊子夹取的方式因为人发力的不稳定性,再加上镊子比较尖锐,与芯片接触部分压强大的原因,容易对芯片端面造成损坏。
目前针对上述问题已有类似方案。专利号CN208460739U《一种微型芯片夹取装置》,专利号CN205342862U《镊子》和专利号CN203495795U《具有锁紧功能的镊子》是通过螺杆螺母等来夹紧物品,虽然避免了人为发力的影响,但是操作繁琐,需要拧螺纹来调节镊子开合,不符合使用镊子的习惯。专利申请公布号CN111214275A《一种急诊科手术用的镊子》,专利号CN205237875U《一种可固定调节开合度的弹簧的镊子》和专利号CN208645118U《一种新型镊子》也带有限位的功能,但其只是限制的镊子张开的大小,显然这种镊子并不能用于解决上述问题。专利号CN210335682U《一种微型芯片夹取装置》核心是采用在镊子底端配有橡胶材质的隔离片,起到缓冲的作用,但是由于橡胶弹性模量小,弹性恢复快,在加工时容易变形,很难控制尺寸和形状精度,所以该方案只能适用于较大尺寸的芯片。专利号CN204604145U《一种具有缓冲限位功能的镊子》采用限位螺丝的方式控制镊子闭合大小,能起到一定的缓冲作用,但是有两个缺点:一,靠螺丝控制闭合精度差;二,限位螺丝位于镊子靠上的部位,镊子的夹取原理是靠镊臂发生的弹性形变来完成的,对于芯片这样小的尺寸,由于限位螺丝位于靠上的部分,力臂过长,所以限位作用微乎其微。夹取芯片时,为避免抖动,都会靠近镊子夹持段施加力,镊子依然可以依靠手施加的作用力实现夹持端的自由闭合,这种限位带来的只是提高了所施加力的大小,其依靠的依然是操作者力度的把握。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种夹取芯片的镊子,旨在改善现有技术中,用于夹取芯片的镊子在夹取的过程中容易对芯片造成损坏、且结构复杂的技术问题。
为实现上述目的,本发明提供一种夹取芯片的镊子,用于夹取芯片,所述夹取芯片的镊子包括:
两个夹臂,每一所述夹臂具有沿其长度方向呈相对设置的连接端及夹持端,所述两个夹臂的两个所述连接端相连接,所述两个夹臂的两个所述夹持端能够沿相互靠近的夹持方向活动;
限位结构,包括限位件,所述限位件的长度可调地设于所述两个夹臂的所述两个夹持端之间,并且所述限位件位于所述夹持端的底部;
其中,所述两个夹臂的所述两个夹持端上均设有用以夹取芯片的金属片。
可选地,所述夹取芯片的镊子还包括多个限位块,两个所述夹臂的两个所述夹持端其中之一形成有安装区,所述安装区供一所述限位块固定安装,以形成所述限位件。
可选地,每一所述限位块的长度不一样。
可选地,所述金属片的制成材料为硬质金属。
可选地,所述限位件安装于距所述夹取芯片的镊子底端495μm-505μm处。
可选地,所述限位块的形状为长方体;和/或,
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