[发明专利]一种基于光学介质膜的激光分光退相干装置

权利要求书

1.一种基于光学介质膜的激光分光退相干装置，其特征在于，所述激光分光退相干装置包括：

透明基底、全反射镜、介质膜部分反射镜阵列以及导光棱镜；

所述全反射镜位于所述透明基底的第一表面，所述介质膜部分反射镜阵列位于所述透明基底的第二表面，所述导光棱镜位于所述透明基底的第二表面的边缘位置；

其中，一束激光入射至所述激光分光退相干装置，经过所述导光棱镜和所述透明基底到达所述全反射镜，再经过所述全反射镜和所述介质膜部分反射镜阵列的反射和透射作用，多个子激光束从所述激光分光退相干装置的一侧出射。

2.根据权利要求1所述的激光分光退相干装置，其特征在于，所述多个子激光束的光强相等。

3.根据权利要求1所述的激光分光退相干装置，其特征在于，所述多个子激光束为非相干的激光束，相邻两子激光束之间的光程差大于激光的相干长度。

4.根据权利要求1所述的激光分光退相干装置，其特征在于，所述介质膜部分反射镜阵列为若干个包含单层或多层介质膜的反射镜，其反射率依次达到或接近(N-1)/N、(N-2)/(N-1)、(N-3)/(N-2)、……、3/4、2/3、1/2和0，其中n为需要分出子激光束的个数。

5.根据权利要求1所述的激光分光退相干装置，其特征在于，所述全反射镜为金属全反射镜或介质膜全反射镜，所述全反射镜的反射率为100％。

6.根据权利要求1所述的激光分光退相干装置，其特征在于，所述导光棱镜朝向入射激光的一侧镀有增透膜。

7.根据权利要求1所述的激光分光退相干装置，其特征在于，入射激光为阵列入射激光。

8.一种基于光学介质膜的激光分光退相干装置，其特征在于，所述激光分光退相干装置包括：两组如权利要求1-7任一项所述的激光分光退相干装置；

第一组所述激光分光退相干装置的出射光束作为第二组所述激光分光退相干装置的入射光束。