[发明专利]一种适用于柔性电子制造的双翻转头芯片转移装置有效
| 申请号: | 202110684422.5 | 申请日: | 2021-06-21 |
| 公开(公告)号: | CN113410171B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
| 发明(设计)人: | 杨跃瑾 | 申请(专利权)人: | 深圳国融智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 适用于 柔性 电子 制造 转头 芯片 转移 装置 | ||
1.一种适用于柔性电子制造的双翻转头芯片转移装置,包括主支架(1),所述主支架(1)上固定安装有芯片传输管(11),其特征在于:所述主支架(1)上设置有芯片拿取装置和芯片转盘装置,所述芯片转盘装置在芯片拿取装置的下方;
所述芯片拿取装置包括主驱动机构和辅转机构,所述主驱动机构包括电动机一(12),所述电动机一(12)固定安装在主支架(1)上,所述电动机一(12)的输出轴上固定安装有转板一(13),所述转板一(13)的端部固定安装有转杆一(14);
所述转杆一(14)上水平转动安装有转板二(15),所述转板二(15)的端部固定安装有拉杆(16),所述拉杆(16)的端部固定安装有转板三(17);
所述转板三(17)的内侧壁水平转动安装有转杆二(18),所述转杆二(18)的端部固定安装有转板四(19),所述转板四(19)的端部固定安装有转杆三(2),所述转杆三(2)水平转动安装在主支架(1)内;
所述辅转机构包括转板五(21),所述转板五(21)的端部固定安装有转杆三(2),所述转板五(21)的端部水平转动安装有转杆四(22);
所述转杆四(22)上固定安装有吸附架(23),所述吸附架(23)上设有抽气盘组件(27),所述吸附架(23)的端部固定安装有上滑杆(24),所述上滑杆(24)上竖直滑动安装有转盒(25),所述转盒(25)与主支架(1)之间水平转动安装有转杆五(26);
所述芯片转盘装置包括主转机构和反转机构,所述主转机构包括电动机二(3),所述电动机二(3)固定安装在主支架(1)上,所述电动机二(3)的输出轴上固定安装有主转杆(31)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于柔性电子制造的双翻转头芯片转移装置,其特征在于:所述主转杆(31)上固定安装有十字转架(41),所述主转杆(31)上固定安装有齿轮一(32),所述主转杆(31)的端部固定安装有上转盘(42)。
3.根据权利要求2所述的一种适用于柔性电子制造的双翻转头芯片转移装置,其特征在于:所述反转机构包括转杆六(34),所述转杆六(34)竖直转动安装在十字转架(41)上,所述转杆六(34)上固定安装有齿轮三(35),所述转杆六(34)的端部固定安装有齿轮二(33),所述齿轮二(33)与齿轮一(32)相配合。
4.根据权利要求3所述的一种适用于柔性电子制造的双翻转头芯片转移装置,其特征在于:所述十字转架(41)上竖直转动安装有转杆七(38),所述转杆七(38)上固定安装有齿轮四(37),所述齿轮四(37)与齿轮三(35)之间安装有传输履带(36),所述转杆七(38)的端部固定安装有固定盒(4)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





