[发明专利]晶圆传输装置及其真空吸附机械手

权利要求书

1.一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，包括底座(1)、支撑环(2)、旋转支撑板(3)、支柱(4)、旋转结构、起降结构、伸缩结构、吸附结构，其特征在于：所述底座(1)顶面固定安装有支撑环(2)，所述支撑环(2)内活动安装有旋转支撑板(3)、所述旋转支撑板(3)顶面固定安装有支柱(4)，所述底座(1)内设置有旋转结构，起降结构、伸缩结构和吸附结构设置于支柱(4)上，所述旋转结构用于控制机械手进行旋转，所述起降结构用于控制机械手上下移动，所述伸缩结构用于控制机械手伸缩，所述吸附结构用于控制机械手对晶圆进行吸附。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，其特征在于：所述吸附结构包括固定安装在所述底座(1)内的真空抽气机(29)，所述真空抽气机(29)上固定安装有气管(30)，所述气管(30)贯穿所述支柱(4)的内部，所述气管(30)的一端与所述连接器(23)固定安装在一起。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，其特征在于：所述晶圆吸附手(25)上开设有翘曲吸附口(31)，所述晶圆吸附手(25)上开设有若干晶圆吸附口(32)，所述晶圆吸附口(32)均匀分布在所述翘曲吸附口(31)的边缘处，所述旋转器(24)上固定安装有固定板(33)，所述固定板(33)上固定安装有高精度平面移动台(34)，所述高精度平面移动台(34)与所述翘曲吸附口(31)相对，所述高精度平面移动台(34)上固定安装有伸缩吸附嘴(35)，所述伸缩吸附嘴(35)上固定安装有连接通管(36)，所述连接通管(36)的一端与所述旋转器(24)固定安装在一起。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，其特征在于：所述晶圆吸附手(25)上固定安装有限位片(37)，所述限位片(37)用于限定晶圆放置到所述晶圆吸附手(25)上的位置，所述旋转器(24)上固定安装有射线传感器(38)，所述射线传感器(38)用于检测翘曲晶圆上翘曲的位置。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，其特征在于：所述旋转结构包括固定安装在所述底座(1)内的伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的转轴上固定安装有转杆(6)，所述转杆(6)的上端固定安装有外齿轮(7)，所述旋转支撑板(3)的底面固定安装有内齿轮(8)，所述内齿轮(8)与所述外齿轮(7)啮合在一起。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，其特征在于：所述起降结构包括开设在所述支柱(4)上的限位滑槽(9)，所述限位滑槽(9)内活动安装有移动平台(10)，所述移动平台(10)延伸至所述支柱(4)的外部，所述移动平台(10)上固定安装有步进电机(11)，所述步进电机(11)的转轴上固定安装有第一锥齿轮(12)，所述第一锥齿轮(12)的两侧均啮合有第二锥齿轮(13)，所述第二锥齿轮(13)上均固定安装有第一传动杆(14)，所述第一传动杆(14)的一端均固定安装有第三锥齿轮(15)，所述第三锥齿轮(15)上均啮合有第四锥齿轮(16)，所述第四锥齿轮(16)上均固定安装有第二传动杆(17)，所述第二传动杆(17)的一端侧面上均固定安装有宽齿轮(18)，所述支柱(4)上的两侧均固定安装有直齿轮(19)，所述宽齿轮(18)与所述直齿轮(19)啮合在一起。

7.根据权利要求2所述的一种用于晶圆传输的真空吸附机械手，其特征在于：所述伸缩结构包括开设在所述支柱(4)上的平滑槽(20)，所述平滑槽(20)内活动安装有滑块(21)，所述滑块(21)上固定安装有液压杆(22)，所述液压杆(22)的推杆上固定安装有连接器(23)，所述连接器(23)的一侧上固定安装有旋转器(24)，所述旋转器(24)一端固定安装有晶圆吸附手(25)，所述连接器(23)与所述旋转器(24)相通，所述旋转器(24)与所述晶圆吸附手(25)相通。