[发明专利]用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法

说明书

本发明公开了一种用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，长晶炉包括主室，主室内容纳有承载溶液的坩埚，溶液移除装置包括：吸附装置，吸附装置设置在坩埚上方，并可相对于坩埚升降，吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，吸附材料能对坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。通过直接吸附的方法，将溶液吸附在吸附材料上，从而有效的将富含大量杂质的溶液移除，提升后续晶棒的品质，且该装置操作简单方便，可有效提高效率，节省人力和时间成本。

技术领域

本发明涉及晶体生长领域，尤其涉及用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，长晶炉和溶液移除方法。

背景技术

伴随着大装料技术（热场增大到36吋），长寿命坩埚、高拉速（水冷热屏）以及排气通畅性（多过滤罐协同作业）等技术突破，单晶炉每炉工作时间达到450小时以上，总投料量3.5吨达以上，一炉可拉单晶硅棒8根以上晶棒，提效降本，是单晶生长的努力方向。但在反复多次拉晶加料后，由于金属的分凝系数在10^-4以下，而每次拉制的时候都会有一些残余溶液留在埚内，这些溶液的金属杂质富集，导致晶体品质随拉晶根数的增多逐渐下降，体现在少子寿命逐渐降低，严重制约了大装料长时间运行技术的发展。

现有埚底料溶液移除技术一般都是采用压差法吸料技术，使用高纯石英管或陶瓷的吸管或吸嘴，利用储存容器与单晶炉主室内的压差，使得溶液被吸入储存容器中，但在实际的过程中，当吸管或吸嘴将溶液吸到储存容器后，硅液固化，吸管或吸嘴会破裂，只能一次性使用，且由于需要压差来吸料，其操作繁复，此外压差法对储存装置的密封性有较高的要求，而当吸管或吸嘴将溶液吸入储存装置后，溶液固化粘附在储存装置上，储存装置的使用率也极其有限，这样使得溶液移除的成本极高。

发明内容

为解决上述问题，本发明的目的在于提出一种用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，使用该移除装置可以有效的将溶液移除，且操作简单，成本低廉，可以有效提高多次加料技术的晶棒的少子寿命。

本发明的一个方面，本发明公开了一种用于长晶炉的溶液移除装置，长晶炉包括主室，主室内容纳有承载溶液的坩埚，溶液移除装置包括：

吸附装置，吸附装置设置在坩埚上方，并可相对于坩埚升降，吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，吸附材料能对坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。

由此，通过直接吸附的方法，将残余溶液吸附在吸附材料上，从而有效的将富含大量杂质的溶液移除，提升后续晶棒的品质，且该装置操作简单方便，可有效提高效率，节省人力和时间成本。

在一些具体的实施例中，吸附材料为石英纤维布。

在一些具体的实施例中，吸附材料被设置成各种形状，形状包括片状、圆柱状、螺旋圆柱状、多边体、螺旋多边体状等。

在一些具体的实施例中，吸附材料设置为螺旋圆柱体形状，螺旋圆柱体的间距均匀。

在一些具体的实施例中，吸附材料设置为螺旋圆柱体形状，螺纹圆柱体的间距呈中心到边缘逐渐增大，中间间距小，边缘间距大。

在一些具体的实施例中，吸附装置还包括设置在吸附材料下方的多孔石英板。

在一些具体的实施例中，溶液移除装置还包括：储存装置，储存装置设置在吸附装置上方，储存装置内限定有储存空间，用于储存吸附完溶液后的吸附装置。

在一些具体的实施例中，储存装置内设置有单向开合的隔离组件，隔离组件在吸附装置进入储存装置后，使得吸附装置不能在落入坩埚中。