[发明专利]一种表面增强红外光谱吸收信号的金纳米结构和方法有效
申请号: | 202110680716.0 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113418886B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 李和昕;何厚澍;刘康;边雨霈;龚婧;余霞 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | G01N21/35 | 分类号: | G01N21/35;G01N21/01 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人: | 吴小灿;朱亚娜 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 增强 红外 光谱 吸收 信号 纳米 结构 方法 | ||
1.一种表面增强红外光谱吸收信号的金纳米结构,其特征在于,包括附着在衬底平面上的金纳米结构单元,所述金纳米结构单元呈类雪花形状;
所述类雪花形状通过对在所述衬底平面上形成的金层进行电子束光刻而成;
所述类雪花形状具有自其中心向外的多级分型结构;
所述多级分型结构包括第1级至第4级分型结构,其中第1级分型结构为从中心以相邻夹角120度向外延伸出的棒长均为l的棒L1、棒L2和棒L3,第2级分型结构包括从棒L1的外端以相邻夹角120度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L11和棒L12,从棒L2的外端以相邻夹角120度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L21和棒L22,从棒L3的外端以相邻夹角120度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L31和棒L32,第3级分型结构包括从棒L11的外端以左侧外角165度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L111和以右侧外角105度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L112,从棒L12的外端以左侧外角105度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L122和以右侧外角165度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L121,从棒L21的外端以左侧外角165度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L211和以右侧外角105度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L212,从棒L22的外端以左侧外角105度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L222和以右侧外角165度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L221,从棒L31的外端以左侧外角165度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L311和以右侧外角105度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L312,从棒L32的外端以左侧外角105度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L322和以右侧外角165度向外延伸出的棒长均为l和棒宽均为w的棒L321,第4级分型结构包括从棒L111的外端以左侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1111和以右侧外角110度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1112,从棒L112的外端以左侧外角120度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1122和以右侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1121,从棒L122的外端以左侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1221和以右侧外角120度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1122,从棒L121的外端以左侧外角110度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1212和以右侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L1211,从棒L211的外端以左侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2111和以右侧外角110度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2112,从棒L212的外端以左侧外角120度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2122和以右侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2121,从棒L222的外端以左侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2221和以右侧外角120度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2222,从棒L221的外端以左侧外角110度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2212和以右侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L2211,从棒L311的外端以左侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3111和以右侧外角110度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3112,从棒L312的外端以左侧外角120度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3122和以右侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3121,从棒L322的外端以左侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3221和以右侧外角120度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3222,从棒L321的外端以左侧外角110度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3212和以右侧外角170度向外延伸出的棒长均为l’和棒宽均为w的棒L3211。
2.根据权利要求1所述的表面增强红外光谱吸收信号的金纳米结构,其特征在于,l=240nm,w=100nm,l’=220nm。
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